[发明专利]闪烁器仪表盘、放射线图象传感器及其制造方法有效
申请号: | 99807295.8 | 申请日: | 1999-06-18 |
公开(公告)号: | CN1140815C | 公开(公告)日: | 2004-03-03 |
发明(设计)人: | 佐藤宏人;本目卓也;高林敏雄 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01T1/20 | 分类号: | G01T1/20 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 杨宏军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在闪烁器仪表盘(2)的Al制基板(10)的一个表面,形成了将入射的放射线转变为可见光的柱状结构的闪烁器(12)。基板(10)与闪烁器(12)整个面被第1聚对二甲苯膜(14)覆盖,在闪烁器(12)一侧的聚对二甲苯膜(14)的表面形成SiO2膜(16)。而且,在SiO2膜(16)表面以及基板(10)一侧的聚对二甲苯膜(14)表面形成第2聚对二甲苯膜(18),整个面被第2聚对二甲苯膜(18)覆盖。 | ||
搜索关键词: | 闪烁 仪表盘 放射线 图象 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种闪烁器仪表盘,具备放射线透过性基板、所说的基板上形成的闪烁器,其特征在于具备覆盖所说的闪烁器的第1透明有机膜以及所说的第1透明有机膜上形成的透明无机膜。
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