[发明专利]可光聚合热固性树脂组合物

摘要

公开了一类特别适合用作碱性可显影掩膜的组合物,包含(A)分子中含至少1个羧基的齐聚物或聚合物;(B)至少一种式Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ、Ⅴ或Ⅵ的化合物,其中R1特别是苯基或烷基;R2是例如无取代或取代的C2－C12链烷酰基,或苯甲酰基;R3、R4、R5、R6和R7独立地是例如氢、C1－C12烷基、环己基或无取代或有取代的苯基,或是苄基、苯甲酰基、C2－C12链烷酰基或苯氧羰基;R8是例如氢或C1－C12烷基或基团(B);M是例如C1－C12亚烷基、亚环己基或亚苯基;M1特别是直连键或C1－C12亚烷氧基;Ar是5－或6员芳族杂环;(C)一种可光聚合的活性或非活性稀释剂;和(D)作为热固性组分的每个分子中含至少2个环氧基的环氧化合物。

主权项

1.光敏热固性液体组合物，其中包含：(A)分子中含有至少1个羧酸基团的齐聚物或聚合物；(B)至少一种式I、II、III、IV、V或VI的化合物：其中：R1是苯基、无取代的，或被1个或多个C1-C6烷基、苯基、卤素、OR8、SR9或NR10R11取代，或者R1是C1-C20烷基、C2-C20链烯基、C2-C20炔基或C2-C20烷基，该烷基任选地被1个或多个-O-隔开和/或任选地被1个或多个羟基取代，或者R1是C2-C20链烷酰基或苯甲酰基，它是无取代的、或被1个或多个C1-C6烷基、苯基、OR8、SR9或NR10R11取代，或者R1是C2-C12烷氧羰基，任选地被1个或多个-O-隔开和/或任选地被1个或多个羟基取代，或者R1是苯氧羰基，无取代的，或被C1-C6烷基、卤素、苯基、OR8或NR10R11取代，或者R1是CONR10R11、CN、NO2、C1-C4-卤烷基、S(O)m-C1-C6烷基、无取代的或C1-C12烷基取代的S(O)m-C6-C12芳基、SO2O-C1-C6烷基、SO2O-C6-C10芳基，或二苯基膦酰基，或者R1与R3一起或R1与R7一起形成含有1个或多个CO-和/或肟基的5或6员环；m是1或2；R2是C2-C12链烷酰基，它是无取代的，或被1个或多个卤素或CN取代，或者R2是C3-C12链烯酰基，或苯甲酰基，它是无取代的，或被1个或多个C1-C6烷基、苯基、卤素、CN、OR8、SR9或NR10R11取代，或者R2是C2-C12烷氧羰基或苯氧羰基，它是无取代的，或被C1-C6烷基或卤素取代；R3、R4、R5、R6和R7彼此独立，是氢、卤素、C1-C12烷基、环戊基、环己基或苯基，它是无取代的，或被1个或多个OR8、SR9或NR10R11取代，或者R3、R4、R5、R6和R7是苄基、苯甲酰基、C2-C12链烷酰基、C2-C12烷氧羰基，任选地被1个或多个-O-隔开和/或任选地被1个或多个羟基取代，或者R3、R4、R5、R6和R7是苯氧羰基或基团OR8、SR9、SOR9、SO2R9、NO2、CN、CONR10R11，或NR10R11，其中取代基OR8、SR9和NR10R11可通过基团R8、R9、R10和/或R11与苯环上的其它取代基或与苯环中的1个碳原子形成5-或6-员环；R8是氢、C1-C12烷基或C2-C6烷基，后者是被-OH、-SH、-CN、C1-C4烷氧基、C3-C6链烯氧基、-OCH2CH2CN、-OCH2CH2COO(C1-C4烷基)、-OCO-C1-C4烷基、-OCO-苯基、COOH或COO(C1-C4烷基)取代的，或者R8是C2-C6烷基，被1个或多个-O-隔开，或者R8是-(CH2CH2O)nH、C2-C8链烷酰基、C2-C12链烯基、C3-C6链烯酰基、环己基或苯基，后者是无取代的或被卤素、C1-C12烷基或C1-C4烷氧基取代，或者R8是苯基-C1-C3烷基或Si(C1-C8烷基)r(苯基)3-r或者R8是下式的基团：n定1～20；r是1、2或3；R9是氢、C1-C12烷基、C2-C12链烯基、环己基、C2-C6烷基，后者是被-OH、-SH、-CN、C1-C4烷氧基、C3-C6链烯氧基、-OCH2CH2CN、-OCH2CH2COO(C1-C4烷基)、-OCO-C1-C4烷基、-OCO-苯基、COOH或COO(C1-C4烷基)取代的，或者R9是C2-C12烷基，被1个或  多个-O-或-S-隔开，或者R9是苯基，无取代的或被卤素、C1-C12烷基或C1-C4烷氧基取代，或者R9是苯基-C1-C3烷基或下式的基团：R10和R11彼此独立，是氢、C1-C12烷基、C2-C4羟烷基、C2-C10烷氧基烷基、C2-C5链烯基、C5-C12环烷基、苯基-C1-C3烷基、无取代或被C1-C12烷基或C1-C4烷氧基取代的苯基，或者R10和R11是C2-C3链烷酰基、C3-C6链烯酰基或苯甲酰基，或者R10和R11合在一起是C2-C6亚烷基，任选地被-O-或-NR8-隔开，或者R10和R11合在一起是C2-C6亚烷基，它可被羟基、C1-C4烷氧基、C2-C4链烷酰氧基或苯甲酰氧基取代，或者，当R10是氢时，R11可以是下式的基团：R12、R13、R14、R15、R16、R17、R18和R19彼此独立，是氢、卤素、C1-C12烷基、环戊基、环己基或苯基，后者是无取代的或被1个或多个OR8、SR9或NR10R11取代，或者R12、R13、R14、R15、R16、R17、R18和R19是苄基、苯甲酰基、C2-C12链烷酰基、C2-C12烷氧羰基，任选地被1个或多个-O-隔开和/或任选地被1个或多个羟基取代，或者R12、R13、R14、R15、R16、R17、R18和R19是苯氧羰基或基团OR8、SR9、SOR9、SO2R9、NO2、CN、CONR10R11，或NR10R11，其中取代基OR8、SR9和NR10R11可通过基团R8、R9、R10和/或R11与苯环上的其它取代基或与苯环中的1个碳原子形成5-或6-员环，或R15和R16合在一起是亚乙基或亚乙炔基；t是0或1；M是C1-C12亚烷基、亚环己基、亚苯基、-COO-(C2-C12亚烷基)-OOC-、-COO-(CH2CH2O)n-OC-或-CO-(C2-C12亚烷基)-CO-；M1是1个直连键或C1-C12亚烷氧基，任选地被1～5个-O-、-S-和/或-NR10-隔开；M2是1个直连键或C1-C12亚烷基-S-，任选地被1～5个-O-、-S-和/或-NR10-隔开；M3是1个直连键、哌嗪子基，或C1-C12亚烷基-NR10-，任选地被1～5个-O-、-S-和/或-NR10-隔开；M4是1个直连键、-O-、-S-、-SO-、-SO2-、-CO-、-CH2-、-NR10-，或基团Ar是5-或6-员的芳族杂环，是无取代的，或被1个或多个C1-C6烷基、苯基、卤素、OR8、SR9、NR10R11、CN、C2-C6链烷酰基或苯甲酰基取代；其中1-苯基-1，2-丙烷二酮-2-O-苯甲酰基肟和1-苯基-1，2-丙烷二酮-2-O-乙氧羰基肟除外；(C)可光聚合的活性或非活性稀释剂；和(D)作为热固性组分的每个分子中含至少2个环氧基的一种环氧化合物。