[发明专利]含预定张力的膜的转换器的制造方法有效
| 申请号： | 99808419.0 | 申请日： | 1999-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN1162043C | 公开（公告）日： | 2004-08-11 |
| 发明（设计）人： | 马西尔斯·穆伦伯恩;皮尔敏·罗姆巴奇 | 申请（专利权）人： | 微电子公司 |
| 主分类号： | H04R31/00 | 分类号： | H04R31/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 丹麦罗*** | 国省代码： | 丹麦;DK |
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| 摘要： | 含预定张力膜(11)的转换器的制造方法。在转换器基本结构制成后，调整膜片使之具有预定张力，此张力最好较低，以便获得较高的灵敏度。公开了两个实施方案。一种方法包括加热转换器，使之高于固定膜片的材料(12，14)的玻璃转化温度。另一种包括测量膜片的实际张力，可用于计算膜片厚度的调整量以达到要求的张力。 | ||
| 搜索关键词： | 预定 张力 转换器 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种显微机加工转换器的制造方法，该显微机加工转换器具有基片和膜片，该膜片相对于基片在平衡位置附近可动，该方法包括以下步骤：提供基片，提供膜片，在膜片和基片之间放置具有玻璃转化温度的物质，将该物质加热到至少等于所述玻璃转化温度的温度，将该物质冷却到低于该玻璃转化温度的温度，和调节该膜片的厚度以获得预定的张力。
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