[发明专利]光学编码传感系统无效

专利信息
申请号: 99808816.1 申请日: 1999-05-20
公开(公告)号: CN1309761A 公开(公告)日: 2001-08-22
发明(设计)人: R·D·佩赫斯特德特;J·S·麦肯兹;Y·卢;J·德阿斯 申请(专利权)人: 布克哈姆技术公共有限公司
主分类号: G01D5/26 分类号: G01D5/26;G01K5/52;G01L9/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 陈霁,陈景峻
地址: 英国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 描述了光学编码的传感系统,该传感系统利用法布里-伯罗干涉仪(4)传感被测量,利用通过(特别是)精细加工光阑(12)形成的腔,设置光程差OPSs大于宽波段光源(1)的相干长度1c。利用另一个具有类似光程差OPSp的干涉仪复原输出。这样,信息被在波长范围内编码,避免了由于衰减、损耗、光源变化等引起的误差。公开了用于腔的适合于大批量生产的基质结构。
搜索关键词: 光学 编码 传感 系统
【主权项】:
1、一种传感系统,包括:至少一个相干长度为lc的宽波段光源;传感干涉仪,包括彼此之间光程差为OPDs的第一和第二光路,第二光路经历与传感干涉仪附近的参数有关的变化;传感干涉仪光学连接到光源和处理干涉仪上,所述处理干涉仪包括彼此之间光程差为OPDp的第三和第四光路;其特征在于:传感干涉仪包括由制成限定OPDs的第一基质形成的光阑;处理干涉仪集成在制成限定OPDp的第二基质上;OPDs和OPDp二者均大于lc,而且OPDs和OPDp之间差值的绝对值小于lc。
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