[发明专利]抛光垫有效
| 申请号： | 99810343.8 | 申请日： | 1999-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN1158165C | 公开（公告）日： | 2004-07-21 |
| 发明（设计）人： | 城邦恭;桥阪和彦;冈哲雄 | 申请（专利权）人： | 东丽株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈昕 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及抛光垫，其特征在于，微橡胶A硬度为80度以上，具有平均气泡直径为1000μm以下的气泡，而且密度为0.4-1.1的范围，含有聚氨酯和乙烯基化合物聚合得到的聚合物。本发明涉及的抛光垫，在使半导体基板的局部性的凹凸平整时，抛光速度快，全台阶状变形小，难于产生金属布线上的洼变，难于产生堵塞及表面部分的应变，抛光速度稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 | ||
【主权项】：
1.一种抛光垫，微橡胶A硬度为80度以上，含有聚氨酯和乙烯基化合物聚合得到的聚合物，具有独立气泡。
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