[发明专利]工件振动缓冲器有效
申请号: | 99811349.2 | 申请日: | 1999-08-04 |
公开(公告)号: | CN1140913C | 公开(公告)日: | 2004-03-03 |
发明(设计)人: | A·阿姆斯特隆 | 申请(专利权)人: | FEI公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;H01J37/20;B23B19/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 曾祥凌;黄力行 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明提出一种在精密加工系统中支承工件的设备。该设备包括许多基本上在一个平面上支承工件的工件接触部件以及用于减小工件振动的顺从静摩擦支承件。该工件支承装置包括连接于工件接触部件和顺从静摩擦支承件的底座部件。该顺从静摩擦支承件包括接触工件的滑动组件。该滑动组件与底座部件形成滑动的摩擦连接。该顺从静摩擦支承件还包括用于迫使滑动组件与工件接触的工件接触弹簧部件。该顺从静摩擦支承件还包括静摩擦弹簧部件。该静摩擦弹簧部件与滑动部件接触。静摩擦弹簧部件迫使滑动部件与底座部件形成摩擦接触。因此,顺从静摩擦支承件抵抗振动力刚性地支承工件。 | ||
搜索关键词: | 工件 振动 缓冲器 | ||
【主权项】:
1.一种在精密加工系统中用于支承工件的设备,上述设备包括:一组支承工件的工件接触部件,上述一组工件接触部件基本上形成一个平面;一组顺从的静摩擦支承装置,与上述接触部件一起安装在一底座部件上,并配置成对工件的刚性支承来抵抗振动力,以减少工件垂直于该平面的振动;该底座部件支承上述一组工件接触部件的各个部件以及上述顺从静摩擦支承装置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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