[发明专利]工件振动缓冲器有效

专利信息
申请号: 99811349.2 申请日: 1999-08-04
公开(公告)号: CN1140913C 公开(公告)日: 2004-03-03
发明(设计)人: A·阿姆斯特隆 申请(专利权)人: FEI公司
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00;H01J37/20;B23B19/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 曾祥凌;黄力行
地址: 美国马*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明提出一种在精密加工系统中支承工件的设备。该设备包括许多基本上在一个平面上支承工件的工件接触部件以及用于减小工件振动的顺从静摩擦支承件。该工件支承装置包括连接于工件接触部件和顺从静摩擦支承件的底座部件。该顺从静摩擦支承件包括接触工件的滑动组件。该滑动组件与底座部件形成滑动的摩擦连接。该顺从静摩擦支承件还包括用于迫使滑动组件与工件接触的工件接触弹簧部件。该顺从静摩擦支承件还包括静摩擦弹簧部件。该静摩擦弹簧部件与滑动部件接触。静摩擦弹簧部件迫使滑动部件与底座部件形成摩擦接触。因此,顺从静摩擦支承件抵抗振动力刚性地支承工件。
搜索关键词: 工件 振动 缓冲器
【主权项】:
1.一种在精密加工系统中用于支承工件的设备,上述设备包括:一组支承工件的工件接触部件,上述一组工件接触部件基本上形成一个平面;一组顺从的静摩擦支承装置,与上述接触部件一起安装在一底座部件上,并配置成对工件的刚性支承来抵抗振动力,以减少工件垂直于该平面的振动;该底座部件支承上述一组工件接触部件的各个部件以及上述顺从静摩擦支承装置。
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