[发明专利]等离子体处理系统中腐蚀终点的确定方法和确定装置

摘要

在采用静电吸盘的等离子体处理系统中腐蚀透衬底上的靶层时确定腐蚀工艺终点的方法和装置。腐蚀工艺的终点通过监测衬底的电位以探测代表腐蚀工艺终点的图形确定。例如，通过监测流到静电吸盘电极的电流，可以观察到该电位的改变。确定了代表腐蚀工艺终点的图形后，例如通过监测电流信号，产生控制信号，以结束腐蚀。如果提供偏置补偿电源，以保持整个腐蚀中流到静电吸盘各极的电流基本相等但符号相反，则可以针对代表腐蚀工艺终点的上述图形，监测由偏置补偿电源输出的补偿电压，从而结束腐蚀。

主权项

1、在等离子体处理系统中腐蚀透衬底上的靶层时确定腐蚀工艺终点的终点确定装置，包括：具有第一极和第二极的静电吸盘；第一DC电源，耦合到所说第一极和所说第二极，用于给所说第一极和所说第二极提供吸持电压；第一电流监测电路，耦合在所说第一极和所说第一DC电源之间，用于监测供给所说第一极的第一电流，所说第一电流监测电路输出表示所说第一电流的第一信号；第二电流监测电路，耦合在所说第二极和所说第一DC电源之间，用于监测供给所说第二极的第二电流，所说第二电流监测电路输出表示所说第二电流的第二信号；差分放大装置，耦合到所说第一电流监测电路和所说第二电流监测电路，所说差分放大装置接收所说第一信号和所说第二信号作为输入，并输出控制信号；可变DC电源，耦合到所说差分放大装置，用于接收所说控制信号，所说可变DC电源构成为响应于所说控制信号来输出偏置所说第一DC电源的补偿电压；及终点监测电路，耦合到所说可变DC电源，所说终点监测电路接收所说补偿电压作为输入，并包括针对表示所说腐蚀工艺的所说终点的图形分析所说补偿电压的电路，所说终点监测电路还包括在确定了所说补偿电压的所说图形后，输出表示所说腐蚀工艺的所说终点的终点信号的电路。