[发明专利]光刻胶及微平版印刷术无效
| 申请号： | 99812637.3 | 申请日： | 1999-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN1324456A | 公开（公告）日： | 2001-11-28 |
| 发明（设计）人： | F·L·沙德特三世;M·弗赖德;M·佩里雅萨米 | 申请（专利权）人： | 纳幕尔杜邦公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王景朝,钟守期 |
| 地址： | 美国特拉华*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了用于紫外(UV)区和紫区微平版印刷术的正性光刻胶及相关的工艺。该光刻胶包含(a)含经保护的酸基的支链聚合物和(b)至少一种光致产酸剂。此光刻胶对整个UV区具有高透明性,有良好的显影性能,抗等离子体蚀刻性高及其它合乎需要的性能,因而对近、远和特远UV,特别是在短于或等于365nm的波长处的微平版印刷术很实用。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 平版 印刷术 | ||
【主权项】：
1、正性光刻胶，包括：(A)含有经保护的酸基的支链聚合物，此聚合物包括一个或多个沿线形主链段化学键接的分枝链段；以及(B)至少一种光致产酸剂。
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