[发明专利]电吸附调制器及制造该调制器的方法无效
| 申请号： | 99814164.X | 申请日： | 1999-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN1149425C | 公开（公告）日： | 2004-05-12 |
| 发明（设计）人： | L·伦德奎斯特 | 申请（专利权）人： | 艾利森电话股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/025 | 分类号： | G02F1/025 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 陈霁;李亚非 |
| 地址： | 瑞典斯*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | 一种制造用于调制光的波导类型的电吸附调制器(EAM)，包括波导芯，波导包层(42、43、52、53)和电极(45、55)，调制器布置成响应于施加到电极的电压调节发射到调制器中的光线。根据本发明，波导芯(41，51)的宽度和/或厚度沿着调制器的长度变化。调制器的宽度和/或厚度在光线预定输入调制器的部位比较小，目的在于减少调制器那儿的吸附。制造调制器的方法利用楔形光刻掩膜(46)。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附 调制器 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于光调制的波导型的电吸附调制器，包括波导芯，波导包层(42、43、52、53)和电极(45、55)，调制器布置成响应于施加到电极的电压调节发射到调制器中的光线，其特征在于波导芯(41，51)的厚度沿着调制器的长度以这样一种方式变化，即：其厚度在光线预定输入调制器的部位比光线输出调制器的部位小，目的在于减少调制器在那里的吸附。
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