[发明专利]用可拉伸模具在基片上精密压制和对准结构的方法无效
| 申请号： | 99814897.0 | 申请日： | 1999-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN1331835A | 公开（公告）日： | 2002-01-16 |
| 发明（设计）人： | R·C·丘;T·L·胡普曼;P·E·汉帕尔;V·W·金;K·R·狄龙 | 申请（专利权）人： | 美国3M公司 |
| 主分类号： | H01J9/24 | 分类号： | H01J9/24 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 李湘 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用微结构模具在有图案基片上模压并对准微结构的方法。在拉伸模具微结构与有图案基片之间安置一种浆料,浆料含有陶瓷粉与可固化短效粘合剂组成的混合物。模具可拉伸,以将模具的微结构对准预定部分的有图案基片。浆料在模具与基片之间硬化,然后取下模具留下粘附于基片并对准基片图案的微结构。微结构经加热除去粘合剂,并优化烧结陶瓷粉。 | ||
| 搜索关键词： | 拉伸 模具 基片上 精密 压制 对准 结构 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在有图案基片上形成和对准微结构的方法，其特征在于所述工艺包括以下步骤：将包括固化材料的混合物放在有图案基片与模具图案表面之间，模具图案表面上有多个微结构；对模具进行拉伸，使一部分模具图案表面与一部分有图案基片对准；将固化材料固化成粘附于基片的刚性状态；和取下模具，留下与基片图案对准的混合物的硬化结构，所述硬化结构基本上复制了模具图案表面的微结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于美国3M公司，未经美国3M公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/99814897.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：245fa的制备
- 下一篇：通过互联网提供无线应用协议服务的系统和方法
