[发明专利]光致抗蚀剂涂层的制备无效
| 申请号： | 99815588.8 | 申请日： | 1999-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN1333996A | 公开（公告）日： | 2002-01-30 |
| 发明（设计）人： | F·塞蒂尔布迪 | 申请（专利权）人： | 范蒂科股份公司 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00;G03F7/16;G03F7/38;G06F7/40 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温宏艳,周慧敏 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制备抗蚀剂涂层的方法,其中(a)用含有至少一种在加热涂层时吸收近红外区辐射的成分的抗蚀剂组合物涂敷基质,和(b)抗蚀剂组合物或由此产生的、在该方法中得到的一种组合物在所述方法的过程中至少经受了一次近红外区域的辐射热处理。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 涂层 制备 | ||
【主权项】：
1、制备抗蚀剂涂层的方法，其中(a)用含有至少一种在加热涂层时吸收近红外区辐射的成分的抗蚀剂组合物涂敷基质，和(b)抗蚀剂组合物或由此产生的、在该方法中得到的一种组合物在所述方法的过程中至少经受了一次近红外区域的辐射热处理。
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