[发明专利]旋转的静电微致动器无效
| 申请号： | 99815672.8 | 申请日： | 1999-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN1333943A | 公开（公告）日： | 2002-01-30 |
| 发明（设计）人： | 约汉·H·杰尔曼;约汉·D·格拉德 | 申请（专利权）人： | 跃龙公司 |
| 主分类号： | H02N1/00 | 分类号： | H02N1/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 冯谱 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种旋转静电微致动器(101),包括一个基本平面的基片和一个旋转构件(103)重叠在基片上用于绕旋转轴(108)旋转,旋转轴垂直于平面的基片延伸。包括第一和第二间隔弹簧(113、114)和多个梳状驱动组件(106、107)。每个梳状驱动组件都一个第一梳状驱动构件(111)安装在基片上。每个第一和第二梳状驱动构件都设有弧形梳状驱动叉指(137、127)。每个第一和第二弹簧有一个第一端部(131a)固定到基片上,并且每个第二弹簧构件有一个第二端部(131b)固定到至少一个第二梳状驱动组件上,用于在基片上悬挂第二梳状驱动组件和旋转构件。第二梳状驱动组件可以沿绕旋转轴的行走方向在第一和第二位置之间运动,在所述第一位置中,第一和第二梳状驱动构件的梳状驱动叉指基本上没有完全交叉,而第二位置,第一和第二梳状驱动构件的梳状驱动叉指基本上完全交叉。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 静电 微致动器 | ||
【主权项】：
1.一种旋转静电微致动器，含有：一个大体平面的基片；一个旋转构件重叠在基片上用于绕旋转轴旋转，旋转轴垂直于平面的基片延伸；至少一个梳状驱动组件基本上径向地从旋转轴伸出并具有第一和第二梳状驱动构件，第一梳状驱动构件安装在基片上，每个第一和第二梳状驱动构件都设有弧形梳状驱动叉指、第一和第二间隔折叠弹簧，及至少一个放置在第一和第二折叠弹簧之间的梳状驱动组件，每个第一和第二折叠弹簧都基本上是U字形的，并且有基本上径向地从旋转轴伸出的第一和第二束状的弹簧构件，每个第一弹簧构件有一个第一端部固定到基片上，并且每个第二弹簧构件有一个第二端部固定到第二梳状驱动组件上，用于在基片上方悬挂第二梳状驱动组件和旋转构件，第二梳状驱动组件可以沿绕旋转轴的行走方向在第一和第二位置之间运动，在所述第一位置中，第一和第二梳状驱动构件的梳状驱动叉指基本上没有完全交叉，而在第二位置，第一和第二梳状驱动构件的梳状驱动叉指基本上完全交叉，从而第一和第二折叠弹簧允许第二梳状驱动构件在第一和第二位置之间有较大的行走，进而允许可旋转构件绕旋转轴较大的旋转。
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