[发明专利]膜片测试系统有效
| 申请号： | 99816816.5 | 申请日： | 1999-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN1361725A | 公开（公告）日： | 2002-07-31 |
| 发明（设计）人： | G·K·雷德;K·A·史密斯;M·A·拜尼;T·莱舍尔;M·科克斯 | 申请（专利权）人： | 卡斯卡德微技术公司 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 崔幼平,章社杲 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 衬底(200)最好由延展性材料构造成,而工具(210)具有最终装置所需的形状,该最终装置用于与检验装置上的接触垫片相接触,该工具被带入与该衬底相接触。该工具最好由比衬底硬的材料构造成,使得凹陷(216)能容易地在衬底上制成。最好已形成图案的非导电(绝缘)层由该衬底支承。导电材料被置入该凹陷内并且之后最好被抛光以便从非导电层的顶部表面除去多余物并提供平坦的总体表面。示踪件在非导电层及导电材料上形成图案。然后聚酰亚胺层最好在该整个表面上方形成图案。然后用任何合适的工艺除去该衬底。 | ||
| 搜索关键词： | 膜片 测试 系统 | ||
【主权项】：
1.一种构造膜片测头的方法包括：(a)提供衬底；(b)在所述衬底内生成凹陷；(c)将导电材料置入所述凹陷内；(d)将导电示踪件连接于所述导电材料；以及(e)从所述导电材料上除去所述衬底。
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