[发明专利]薄膜的制作方法及制作装置

权利要求书

1．一种薄膜制作装置，其特征在于，它包括：

一夹具舱移动部(60)，它包括一被水平支承的导轨(61)，带有移动轮(63)的、可在所述导轨(61)上水平移动的垂直旋转轴支架(62)；

上端固定在垂直旋转轴支架(62)上的垂直旋转轴(11)；

一垂直旋转轴连接架(13)，其固定端(131)连接在垂直旋转轴(11)上，其盘状的两侧端(132,132′)被多个支架(133)连接在一起；

安装在垂直旋转轴连接架(13)上的水平旋转轴(12,12′)；

对称设置的夹具舱(10)，它们分别包括安装在水平旋转轴(12,12′)上、并将垂直旋转轴连接架(13)的两侧端(132,132′)夹在中间的夹具舱盖(14,14′)，以及固定连接在夹具舱盖(14,14′)上的基板支架舱(15,15′)；

工作舱(20)，它上部与移动导轨(61)固定连接，下部与工作舱支架(51)和薄膜移动支架(50)固定连接；

薄膜制作部(30)，它包括与工作舱(20)下部连接的薄膜移动支架(50)，可在薄膜移动支架(50)上移动的薄膜制作移动部(70)，与薄膜制作移动部(70)固定连接的、上面设有插入孔的工作舱盖(31)，以及固定在工作舱盖(31)上的、具有多边形中空构造的固定支架(32)；以及

固定安装在固定支架(32)上端的真空镀膜装置(33)、外侧上的溅镀装置(34)、离子镀装置(35)、离子注入装置(36)、紫外线辐射装置(37)、等离子体蚀刻装置(38)中的至少一种装置。

2．如权利要求1所述的薄膜制作装置，其特征在于，基板支架舱(15,15′)的外侧有多个基板支架舱骨架(16)，内侧固定有多个基板支架导轨(17)，在基板支架导轨(17)内部插着插有基板(19)的基板固定架(18)。

3．如权利要求1所述的薄膜制作装置，其特征在于，真空镀膜装置(33)包括让冷却水流入内部的冷却水流入管(331)，向外排出冷却水、冷却水流入管(331)在其内部保持一定间距、导电的冷却水排出管(332)，让冷却水流入管(331)在冷却水排出管(332)内部保持一定间距、并防止冷却水排出管(332)和工作舱(20)通电而发生漏电的绝缘体(333,334)，从冷却水排出管(332)导出电流的、插入并固定在两个冷却水排出管(332)的导电体(335)，插入并固定在导电体(335)的插槽(366)上的、利用电阻热把形成薄膜的物质加热至蒸汽压以上的电阻(337)，以及位于电阻上面的、盛镀膜物质的蒸发坩埚(338)。

4．如权利要求3所述的薄膜制作装置，其特征在于，导电体(335)使用纯铜或黄铜；电阻(337)使用碳、石墨或电阻发热体；蒸发坩埚(338)使用Mo、Co、W、Ti或高温陶瓷。

5．如权利要求1所述的薄膜制作装置，其特征在于，溅镀装置包括冷却阴极内部的冷却部、磁铁固定钳(344)、磁铁固定板(345)和高性能磁铁(341,342)。

6．如权利要求1所述的薄膜制作装置，其特征在于，在薄膜制作部(30)中，工作舱盖(31)通过多个连接杆(71)与薄膜制作移动部(70)连接；薄膜制作移动部(70)包括与连接杆(71)连接的支架(72)，固定在支架(72)下面的支托(73)，以及安装在支托(73)下面的、可让薄膜制作移动部(30)左右移动的多个移动轮(74)。

7．一种薄膜制作方法，其特征在于，利用权利要求1-6之一所述的装置，把至少一种以上的真空薄膜制作技术组合在一起制作薄膜。

8．如权利要求7所述的薄膜制作方法，其特征在于，薄膜材料使用Li、Be、Na、Mg、Al、Si、P、S、Cl、K、A、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Cu、Zn、Ga、As、Zr、Mo、Pb、Ag、Cd、Sn、Te、La、Hf、Ta、Pt、Au、W、不锈钢、及其合金、金属化合物、高分子材料或复合材料。