[发明专利]真空阀有效
| 申请号： | 00101829.9 | 申请日： | 2000-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN1163926C | 公开（公告）日： | 2004-08-25 |
| 发明（设计）人： | 奥富功;草野贵史;大岛岩;本间三孝;山本敦史;西村隆宣 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | H01H33/664 | 分类号： | H01H33/664;C23C14/00;C22C9/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 杨宏军 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 | ||
【权利要求书】：
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