[发明专利]一种用于电子元器件的硅基铁电夹心结构及其制备方法无效
申请号: | 00105549.6 | 申请日: | 2000-03-31 |
公开(公告)号: | CN1119837C | 公开(公告)日: | 2003-08-27 |
发明(设计)人: | 任天令;张林涛;刘理天;李志坚 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | H01L41/22 | 分类号: | H01L41/22;H01L41/16;C04B35/01;C04B35/622 |
代理公司: | 北京清亦华专利事务所 | 代理人: | 罗文群 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 电子元器件 硅基铁电 夹心 结构 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】:
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