[发明专利]喷砂装置的静电导除载具

权利要求书

1.一种喷砂装置的静电导除载具，该喷砂装置至少包括有一基台，一滑道设在该基台上，以及一喷嘴设在该滑道上方，用来进行一喷砂制造过程，该静电导除载具是以可滑动的方式放置在该滑道上，其包括有：

一底板，用来承载一待处理的基板，该基板上设有多个第一导电体与多个第二导电体，该多个第一导电体是沿着该基板的第一侧排列，且该多个第二导电体沿着该基板的第二侧排列；以及

两导电夹具，分别装设于该底板的第一侧与第二侧，用来将该基板固定至该底板上，其中该两导电夹具会同时接触到该多个第一及第二导电体，使每一与该两导电夹具相接触的多个第一及第二导电体的电位相等，因此在该喷砂制造过程中所产生的静电会经由该两导电夹具导出而不会积聚在该基板表面的多个第一及第二导电体上。

2.如权利要求1所述的静电导除载具，其中该喷砂装置另包括有一导电刷设于该滑道上方，当该静电导除载具置在该滑道上时，该导电刷会同时接触到该两导电夹具并使其接地。

3.如权利要求2所述的静电导除载具，其中该导电刷也接触该基板表面，使该基板表面的静电可以由该导电刷排除。

4.如权利要求1所述的静电导除载具，其中该喷砂装置另外包括有多个滚轮设于该滑道上，用来使该静电导除载具得以在该滑道上直向滑移。

5.如权利要求4所述的静电导除载具，其中该静电导除装置的底板由金属构成，滚轮由导电橡胶组成，可使该基板的静电通过该滚轮排除。

6.如权利要求1所述的静电导除载具，其中该喷砂装置的喷嘴以横向且反复来回的运动方式对该基板进行一喷砂制造过程。

7.如权利要求1所述的静电导除载具，其中每一导电夹具包括有：

一金属框架；以及

一软质导电层，设于该金属框架的下侧，用来触接该基板表面的导电体。

8.如权利要求1所述的静电导除载具，其中该基板为一等离子显示面板的背基板，该喷砂制造过程用来制作该背基板上的阻隔壁。