[发明专利]电子源、图象形成装置

权利要求书

1．一种电子源，包括一个按照输入信号发射电子的电子发射器件，其特征是上述电子发射器件包括一对相对设置的电极和设在这些电极之间并包括一高电阻区的导电膜，上述高电阻区具有以碳为主要成分的淀积层。

2．按照权利要求1的电子源，其特征是在上述高电阻区近旁也设有上述以碳为主要成分的淀积层。

3．按照权利要求2的电子源，其特征是上述以碳为主要成分的淀积层位于上述导电膜上并且离开上述高电阻区。

4．按照权利要求3的电子源，其特征是上述以碳为主要成分的淀积层位于离开上述高电阻区的一个上述电极上。

5．按照权利要求4的电子源，其特征是上述以碳为主要成分的淀积层位于导电膜的一部分上，靠近离开上述高电阻区的上述电极之中电位较高的一个电极。

6．按照权利要求1的电子源，其特征是上述导电膜是由导电微粒制成的。

7．按照权利要求6的电子源，其特征是上述导电微粒是由金属或一种金属氧化物制成的。

8．按照权利要求6的电子源，其特征是至少有一部分上述导电微粒被上述淀积层所覆盖。

9．按照权利要求1的电子源，其特征是上述高电阻区包含导电微粒。

10．按照权利要求9的电子源，其特征是至少有一部分上述导电微粒被上述淀积层所覆盖。

11．按照权利要求1的电子源，其特征是至少有一部分上述电极被上述以碳为主要成分的淀积层所覆盖。

12．按照权利要求1的电子源，其特征是上述以碳为主要成分的淀积层主要是由石墨、非晶碳或是其混合物制成的。

13．按照权利要求1的电子源，其特征是器件的电子发射电流相对于加到上述电极上的电压具有单调增加的特性。

14．按照权利要求1的电子源，其特征是包括排列成多行的许多上述电子发射器件，每个上述电子发射器件的两端均被连接到导线上，以及一个调制装置用于对上述电子发射器件发射出的电子束进行调制。

15．按照权利要求1的电子源，其特征是包括排列成多行的许多上述电子发射器件，并且分别被连接到相互间电气绝缘的m个X方向导线和n个Y方向导线。

16．一种图象形成装置，包括一个电子源和一个按照输入信号形成图象的图象形成元件，其特征是上述电子源包括一对相对设置的电极和设在这些电极之间并包括一高电阻区的导电膜，上述高电阻区具有以碳为主要成分的淀积层。

17．按照权利要求16的图象形成装置，其特征是在上述高电阻区近旁也设有上述以碳为主要成分的淀积层。

18．按照权利要求17的图象形成装置，其特征是上述以碳为主要成分的淀积层位于上述导电膜上并且离开上述高电阻区。

19．按照权利要求18的图象形成装置，其特征是上述以碳为主要成分的淀积层位于离开上述高电阻区的一个上述电极上。

20．按照权利要求19的图象形成装置，其特征是上述以碳为主要成分的淀积层位于导电膜的一部分上，靠近离开上述高电阻区的上述电极之中电位较高的一个电极。

21．按照权利要求16的图象形成装置，其特征是上述导电膜是由导电微粒制成的。

22．按照权利要求21的图象形成装置，其特征是上述导电微粒是由金属或一种金属氧化物制成的。

23．按照权利要求21的图象形成装置，其特征是至少有一部分上述导电微粒被上述淀积层所覆盖。

24．按照权利要求16的图象形成装置，其特征是上述高电阻区包含导电微粒。

25．按照权利要求24的图象形成装置，其特征是至少有一部分上述导电微粒被上述淀积层所覆盖。

26．按照权利要求16的图象形成装置，其特征是至少有一部分上述电极被上述以碳为主要成分的淀积层所覆盖。