[发明专利]具有薄膜层叠片的全集成热喷墨打印头无效

专利信息
申请号: 00108717.7 申请日: 2000-05-26
公开(公告)号: CN1286167A 公开(公告)日: 2001-03-07
发明(设计)人: N·A·卡瓦穆拉;C·C·达维斯;T·L·韦伯;K·E·特吕巴;J·P·哈蒙;D·R·托马斯 申请(专利权)人: 惠普公司
主分类号: B41J2/14 分类号: B41J2/14
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 蔡民军,黄力行
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 具有 薄膜 层叠 集成 喷墨 打印头
【权利要求书】:

1.一种打印装置,包括:

一个打印头,包括:

一个打印头基片(20);

设置在所述基片(20)的第一表面的若干薄膜层(24,40-50),所述层中的至少一层形成若干喷墨元件(24);

通过所述薄膜层形成的输墨孔(26);和

位于所述基片(20)上的至少一个开口(36),提供一个从所述基片的第二表面、通过所述基片并到达设在所述薄膜层上的所述输墨孔(26)的油墨通道;一所说薄膜层的叠片(45),它构成所说输墨孔的一边缘,并伸出在所说基片边缘之外。

2.如权利要求1的装置,还包括一个设在所述薄膜层(24,40-50)上方的有孔层(28),所述有孔层形成若干喷墨腔(30),在每一个喷墨腔里面有一喷墨元件(24),所述有孔层还为每一个喷墨腔(30)形成一个喷口(30)。

3.如上述权利要求任一项的装置,其中,所述薄膜层的叠片(45)包括一层场氧化物(FOX)层(40)。

4.如上述权利要求中任一项的装置,其中,所说若干喷墨元件(24)由所说叠片(45)支承。

5.如上述权利要求中任一项的装置,其中,所形成的若干喷墨元件(24)覆盖在所说基片(20)上。

6.如上述权利要求中任一项的装置,其中,所说薄膜层(24,40-50)的叠片(45)形成两基片部分之间的桥接部

7.如上述权利要求中任一项的装置,其中,在所说基片(20)的至少一个开口(36)形成该基片中的一个槽,当蚀刻所说的槽时,所说薄膜层(40)之一起着一蚀刻阻挡层的作用。

8.一种生产打印装置的方法,包括:

提供一个打印头基片(20);

在所述基片(20)的第一表面设置若干薄膜层(24,40-50),由所述层中的至少一个形成若干喷墨元件(24);

形成通过所述薄膜层(24,40-50)的输墨孔(26);和

在所述基片(20)上形成至少一个开口(36),提供一个从所述基片的第二表面、通过所述基片并到达设在所述薄膜层上的输墨孔(26)的油墨通道;形成所说的至少一个开口,以建立一所说薄膜层的叠片(45),该叠片形成一个所说输墨孔(26)的边缘,并伸出在所说基片(20)一边缘之外

9.如权利要求8的方法,还包括形成一个位于所述薄膜层(24,40-50)上方的有孔层(28),所述有孔层形成若干喷墨腔(30),在每一个喷墨腔里面有一喷墨元件(24),所述有孔层还为每一个喷墨腔(30)形成一个喷口(34)。

10.一种打印方法,包括:

将油墨(38)输送通过打印头基片(20)上的至少一个开口(36),并通过设在所述基片上的薄膜层(24,40-50)上的输墨孔(26)及流过所说薄膜层的叠片部分(45),所说叠片部分(45)伸出基片(20)的一边缘之外,所述薄膜层中的至少一层形成若干喷墨元件(24);和

给所述喷墨元件(24)供能,以便通过相关的喷口(34)排出油墨。

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