[发明专利]具有薄膜层叠片的全集成热喷墨打印头

权利要求书

1．一种打印装置，包括：

一个打印头，包括：

一个打印头基片(20)；

设置在所述基片(20)的第一表面的若干薄膜层(24，40-50)，所述层中的至少一层形成若干喷墨元件(24)；

通过所述薄膜层形成的输墨孔(26)；和

位于所述基片(20)上的至少一个开口(36)，提供一个从所述基片的第二表面、通过所述基片并到达设在所述薄膜层上的所述输墨孔(26)的油墨通道；一所说薄膜层的叠片(45)，它构成所说输墨孔的一边缘，并伸出在所说基片边缘之外。

2．如权利要求1的装置，还包括一个设在所述薄膜层(24，40-50)上方的有孔层(28)，所述有孔层形成若干喷墨腔(30)，在每一个喷墨腔里面有一喷墨元件(24)，所述有孔层还为每一个喷墨腔(30)形成一个喷口(30)。

3．如上述权利要求任一项的装置，其中，所述薄膜层的叠片(45)包括一层场氧化物(FOX)层(40)。

4．如上述权利要求中任一项的装置，其中，所说若干喷墨元件(24)由所说叠片(45)支承。

5．如上述权利要求中任一项的装置，其中，所形成的若干喷墨元件(24)覆盖在所说基片(20)上。

6．如上述权利要求中任一项的装置，其中，所说薄膜层(24，40-50)的叠片(45)形成两基片部分之间的桥接部

7．如上述权利要求中任一项的装置，其中，在所说基片(20)的至少一个开口(36)形成该基片中的一个槽，当蚀刻所说的槽时，所说薄膜层(40)之一起着一蚀刻阻挡层的作用。

8．一种生产打印装置的方法，包括：

提供一个打印头基片(20)；

在所述基片(20)的第一表面设置若干薄膜层(24，40-50)，由所述层中的至少一个形成若干喷墨元件(24)；

形成通过所述薄膜层(24，40-50)的输墨孔(26)；和

在所述基片(20)上形成至少一个开口(36)，提供一个从所述基片的第二表面、通过所述基片并到达设在所述薄膜层上的输墨孔(26)的油墨通道；形成所说的至少一个开口，以建立一所说薄膜层的叠片(45)，该叠片形成一个所说输墨孔(26)的边缘，并伸出在所说基片(20)一边缘之外

9．如权利要求8的方法，还包括形成一个位于所述薄膜层(24，40-50)上方的有孔层(28)，所述有孔层形成若干喷墨腔(30)，在每一个喷墨腔里面有一喷墨元件(24)，所述有孔层还为每一个喷墨腔(30)形成一个喷口(34)。

10．一种打印方法，包括：

将油墨(38)输送通过打印头基片(20)上的至少一个开口(36)，并通过设在所述基片上的薄膜层(24，40-50)上的输墨孔(26)及流过所说薄膜层的叠片部分(45)，所说叠片部分(45)伸出基片(20)的一边缘之外，所述薄膜层中的至少一层形成若干喷墨元件(24)；和

给所述喷墨元件(24)供能，以便通过相关的喷口(34)排出油墨。