[发明专利]氟气发生器

权利要求书

1、一种氟气发生器，包括其内装有分解药品(2)的分解反应装置，其特征在于：所述的分解反应装置为分解反应器(1)，其设置于电炉(3)的炉腔内，所述分解反应器(1)的出气口与HF吸收器(4)的进气口连通，HF吸收器(4)外部设有加热套(5)，HF吸收器(4)的出气口经输气管道(19)与气体冷却器(11)的进气口连通，所述气体冷却器(11)的出气口经输气管(17)与粉尘过滤器(12)的进气口连通，所述粉尘过滤器(12)的出气口接有与工作台连通的输气管(18)，所述输气管(18)上设置有控制阀(13)；所述电炉(3)和加热套(5)分别与温控器(9)和(7)相连接。

2、如权利要求1所述的氟气发生器，其特征在于：所述的分解反应器(1)包括反应器筒体(20)，其出口处设有与筒体(20)密封连接的密封端盖(22)，密封端盖(22)上设有与筒体(20)连通的出气管(23)，该出气管(23)外部设置有散热片(25)。

3、如权利要求1或2所述的氟气发生器，其特征在于：所述的分解药品(2)为KF.K₂NiF₆、Cs₂NiF₆、K₂MnF₆或CaNiF₆。

4、如权利要求1或2所述的氟气发生器，其特征在于：所述分解反应器(1)的出气管(23)外部设置有轴流风机(8)。

5、如权利要求1或2所述的氟气发生器，其特征在于：所述的HF吸收器(4)包括筒体(28)，其内封装有吸收剂(27)，两端端口分别设置有封装网(29)及密封端盖(30)，密封端盖(30)上设置有与筒体(28)连通的接头(31)，所述加热套(5)设置于筒体(28)外表面。

6、如权利要求5所述的氟气发生器，其特征在于：所述的粉尘过滤器(12)包括筒体(34)，其内设置有过滤器内芯(35)，其两端分别设置有密封端盖(36)，两密封端盖(36)上设有分别与内芯(35)和筒体(34)连通的接头(40)和(37)。