[发明专利]用于表面形貌测量的位移传感器

权利要求书

1.一种用于表面形貌测量的位移传感器，包括激光器和依次置放在光路上的偏振分光镜、λ/4波片、位移装置及与其相联接的物镜，所述偏振分光镜与光路成45°角，正对偏振分光镜与光路垂直放置聚焦透镜、其焦点处放置光电转换器，光电转换器与自动聚集控制电路、驱动电路、所述位移装置顺序通过电信号联接，上述各组成部分均固定于一壳体内，其特征在于：

(1)所述壳体正对光路和物镜处开有通光孔，

(2)在通光孔处通过螺纹或紧固螺钉联接可拆卸测头，

(3)可拆卸测头由管状外壳及其内部一端带有触针、另一端固接反射镜的测杆构成。

2.如权利要求1所述的用于表面形貌测量的位移传感器，其特征在于所述测杆通过固定于杆身的簧片和管状外壳柔性联接；所述触针直径为0.5μm～2μm。

3.如权利要求1或2所述的用于表面形貌测量的位移传感器，其特征在于所述位移装置可为步进电机、音圈电机、直线电机或压电陶瓷。