[发明专利]玻璃上的硅光波导材料及其制作方法

权利要求书

1、一种玻璃上的硅光波导材料，具特征在于它是以玻璃为衬底，硅为波导层，玻璃做限制层的光波导材料。

2、根据权利要求1所述的玻璃上的硅光波导材料，其特征是所说的限制层是玻璃——氧化硅层。

3、根据权利要求1所述的玻璃上的硅光波导材料的制作方法，其特征在于具体制作步骤如下：

(1)硅片抛光面和玻璃片抛光面在常规清洗后，烘干；

(2)在静电键合机上将硅片与玻璃片键合，键合温度300摄氏度-400摄氏度，键合电压800伏-1600伏；

(3)键合后对硅片进行减薄处理，达到所需厚度。

4、根据权利要求2所述的玻璃上的硅光波导材料的制作方法，其特征在于它的制作步骤是：

(1)硅片先进行高温氧化处理，形成具有一层氧化硅的硅片；

(2)具有氧化硅层的硅片的氧化硅面和玻璃片抛光面在常规清洗后，烘干；

(3)在静电键合机上将具有氧化硅层的硅片与玻璃片键合，键合温度300摄氏度-400摄氏度，键合电压800伏-1600伏；

(4)对硅片进行减薄，达到所需厚度。

5、根据权利要求3或4所述的玻璃上的硅光波导材料的制作方法，其特征在于所说的硅片进行减薄的方法处理，可以是各向异性腐蚀剂腐蚀，也可以是机械抛光，或化学抛光，或电化学腐蚀或其组合方法。