[发明专利]具有可移动光敏元件的位置传感装置

权利要求书

1．一种位置传感装置(200)，包括：

基板(210)；

第一部分(370)和第二部分(372)，其中所述第一部分(370)与所述基板(210)相连，所述第二部分(372)沿着第一轴(150)可移动地安装在所述第一部分(370)上；

连接到所述第二部分(372上)的二维光敏元件阵列230；

在一个平面与二维光敏元件阵列(230)之间延伸的光路(260)；以及

位于所述光路(260)中的透镜(250)。

2．如权利要求1所述的装置，其中所述第二部分(372)沿着第一轴(150)和第二轴(140)可移动地安装在所述第一部分(370)上，其中所述第一轴(150)基本上垂直于所述第二轴(140)。

3．一种位置传感装置(200)，包括：

基板(210)；

连接在所述基板(210)上的二维光敏元件阵列(230)；

在所述二维光敏元件阵列(230)与一个平面之间延伸的光路(260)；

第一部分(370)和第二部分(372)，其中所述第一部分(370)与所述基板(210)相连，所述第二部分(372)沿着第一轴(150)可移动地安装在所述第一部分(370)上；以及

连接在所述第二部分(372)上并位于所述光路(260)中的透镜(250)。

4．如权利要求3所述的装置，其中所述第二部分(372)沿着第一轴(150)和第二轴(140)可移动地安装在所述第一部分(370)上，其中所述第一轴(150)基本上垂直于所述第二轴(140)。

5．一种用于确定物体(100)相对于表面(182)的位置的方法，该方法包括：

提供可移动地连接在所述物体(100)上的二维光敏元件阵列(230)；

把光从所述表面(182)的焦平面部分(190)传播到所述二维光敏元件阵列(230)；

使得所述表面(182)与所述物体(100)之间相对移动；

通过移动所述二维光敏元件阵列(230)保持所述表面(182)的所述焦平面部分(190)与所述二维光敏元件阵列(230)之间的光路(260)；以及

分析所述二维光敏元件阵列(230)的所述移动，以便确定所述物体(100)相对于所述表面(182)的位移。

6．根据权利要求5所述的方法，进一步包括在所述二维光敏元件阵列(230)与所述表面(182)的所述焦平面部分(190)之间提供透镜(250)。

7．根据权利要求6所述的方法，进一步包括与所述二维光敏元件阵列(230)的移动成正比地移动所述透镜(250)。

8．一种用于确定物体(100)相对于表面(182)的位置的方法，该方法包括：

提供与所述物体(100)相连的二维光敏元件阵列(230)；

提供与所述物体(100)相连的透镜(250)；

通过所述透镜(250)把光从所述表面(182)的所述焦平面部分(190)传播到所述二维光敏元件阵列(230)；

使得所述表面(182)与所述物体(100)之间相对移动；

通过相对于所述二维光敏元件阵列(230)移动所述透镜(250)，保持所述表面(182)的所述焦平面部分(190)与所述二维光敏元件阵列(230)之间的光路(260)；以及

分析所述透镜(250)相对于所述二维光敏元件阵列(230)的移动，以便确定所述物体(100)相对于所述表面(182)的位移。

9．根据权利要求8所述的方法，其中所述提供二维光敏元件阵列(230)的步骤包括提供与所述物体(100)固定连接的二维光敏元件阵列(230)。

10．根据权利要求8所述的方法，其中所述提供透镜(250)的步骤包括提供与所述物体(100)固定连接的透镜(250)。