[发明专利]一种在线镀膜的方法无效
| 申请号： | 00118914.X | 申请日： | 2000-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN1330048A | 公开（公告）日： | 2002-01-09 |
| 发明（设计）人： | 杨辉;葛曼珍;孟祥森;江仲华 | 申请（专利权）人： | 浙江大学无机非金属材料研究所 |
| 主分类号： | C03C17/245 | 分类号： | C03C17/245 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 3100*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 在线 镀膜 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种对浮法玻璃进行在线复合镀膜的方法，其特征在于用化学气相沉积法对浮法玻璃直接在线镀膜，在玻璃表面进行镀膜时，采用SiH4-NH3-N2-H2O系统，炉内充氮气作保护气体，氮气纯度为99.99％，NH3/SiH4流量比例为0～100/1，NH3中水汽含量为0～0.1％，反应温度600～750℃，反应时间为1～10分钟，生成较高质量的复合薄膜(主要含Si、N、O)，使制得的镀膜玻璃抗弯强度和硬度提高幅度较大，耐酸性、耐碱性良好，透光率＞80％。
2.按照权利要求1所述的方法，其特征在于NH3/SiH4流量比例为10/1，NH3中水汽含量为0.001％，反应温度为650℃，反应时间1分钟。
3.按照权利要求1所述的方法，其特征在于NH3/SiH4流量比例为60/1，中水汽含量为0.01％，反应温度为650℃，反应时间10分钟。
4.按照权利要求1所述的方法，其特征在于NH3/SiH4流量比例为100/1，NH3中水汽含量为0.1％，反应温度为650℃，反应时间5分钟。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学无机非金属材料研究所，未经浙江大学无机非金属材料研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/00118914.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：弹性功能纺织物
- 下一篇：新型高效环保节能金属焊割气及其生产方法
