[发明专利]高刚性玻璃陶瓷基片

权利要求书

1.一种含有主要结晶相的高刚性玻璃陶瓷基片，所述主要结晶相选自顽辉石(MgSiO₃)、顽辉石固溶体MgSiO₃固溶体、钛酸镁(MgTi₂O₅)和钛酸镁固溶体(MgTi₂O₅固溶体)中的至少一种，构成玻璃陶瓷基片的玻璃陶瓷的杨氏模量在115GPa-160GPa范围内并含有小于20重量％的Al₂O₃成分。

2.一种含有主要结晶相的高刚性玻璃陶瓷基片，所述主要结晶相含有顽辉石或顽辉石固溶体作为具有最大沉淀率的第一结晶相，构成玻璃陶瓷基片的玻璃陶瓷的杨氏模量在115GPa-160GPa范围内并含有小于20重量％的Al₂O₃成分。

3.一种含有主要结晶相的高刚性玻璃陶瓷基片，所述主要结晶相含有钛酸镁或钛酸镁固溶体作为具有最大沉淀率的第一结晶相，构成玻璃陶瓷基片的玻璃陶瓷的杨氏模量在115GPa-160GPa范围内并含有小于20重量％的Al₂O₃成分。

4.一种含有主要结晶相的高刚性玻璃陶瓷基片，所述主要结晶相含有顽辉石或顽辉石固溶体作为具有最大沉淀率的第一结晶相，还含有至少一种选自钛酸镁、钛酸镁固溶体、尖晶石和尖晶石固溶体的成分作为沉淀率低于第一结晶相的第二结晶相，构成玻璃陶瓷基片的玻璃陶瓷的杨氏模量在115GPa-160GPa范围内并含有小于20重量％的Al₂O₃成分。

5.一种含有主要结晶相的高刚性玻璃陶瓷基片，所述主要结晶相含有钛酸镁或钛酸镁固溶体作为具有最大沉淀率的第一结晶相，还含有至少一种选自顽辉石、顽辉石固溶体、尖晶石和尖晶石固溶体的成分作为沉淀率低于第一结晶相的第二结晶相，构成玻璃陶瓷基片的玻璃陶瓷的杨氏模量在115GPa-160GPa范围内并含有小于20重量％的Al₂O₃成分。

6.一种如权利要求1所述的高刚性玻璃陶瓷基片，其中所述的玻璃陶瓷基本不含Li₂O、Na₂O和K₂O。

7.一种如权利要求1所述的高刚性玻璃陶瓷基片，该基片在抛光后的表面粗糙度Ra(算术平均粗糙度)为8或更低，最大表面粗糙度Rmax为100或更低。

8.一种如权利要求1所述的高刚性玻璃陶瓷基片，该基片在-50℃-+70℃范围内的热膨胀系数为40×10^-7/℃至60×10^-7/℃。

9.一种如权利要求1所述的高刚性玻璃陶瓷基片，其中所述的主要结晶相的晶粒直径在0.05-0.30μm范围内。

10.一种如权利要求1所述的高刚性玻璃陶瓷基片，该基片的维氏硬度在6860-8330N/mm²范围内。