[发明专利]用来探测薄膜清除工艺的终点的方法和装置无效
| 申请号： | 00120454.8 | 申请日： | 2000-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN1125705C | 公开（公告）日： | 2003-10-29 |
| 发明（设计）人： | 李乐平;王新辉 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | B24B49/10 | 分类号： | B24B49/10 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用来 探测 薄膜 清除 工艺 终点 方法 装置 | ||
【说明书】：
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