[发明专利]高灵敏探热方法和装置

权利要求书

1、一种高灵敏探热方法，其特征在于用激光将超导材料沉附成膜或真空溅射镀膜，膜的两端头连接阻值测量线，将膜附在承膜基片上形成探测元件，将附有膜的承膜基片放入设有窗口的液氮控温槽内，承膜基片固定在液氮控温槽内而使膜正对液氮控温槽的窗口，控制液氮控温槽的温度，使其处于超导材料所形成的膜的剧变阀温度区域内，将液氮控温槽内的窗口对准被测温物体，通过测量超导材料所形成膜的阻值来测量被测物体的温度。

2、根据权利要求1所述的高灵敏探热方法，其特征在于在液氮控温槽内设有一与探测元件完全相同材质和结构的补偿元件，用于计算补偿液氮控温槽内自身温度漂移产生的影响。

3、一种如权利要求1所述方法实现的高灵敏探热装置，其特征在于用激光将超导材料沉附成超导膜或真空溅射镀膜，膜的两端头连接阻值测量线，将膜附在承膜基片上形成探测元件，将附有膜的承膜基片放入设有窗口的液氮控温槽内，承膜基片固定在液氮控温槽内而使膜正对液氮控温槽的窗口，控制液氮控温槽的温度，使其处于超导材料所形成的膜的剧变阀温度区域内，将液氮控温槽内的窗口对准被测温物体，通过测量超导材料所形成膜的阻值来测量被测物体的温度。

4、根据权利要求3所述的高灵敏探热装置，其特征在于液氮控温槽设有窗口，液氮控温槽内固定附有超导材料制成的膜的承膜基片并使膜对准窗口，膜的两端头连接阻值测量线。

5、根据权利要求4所述的高灵敏探热装置，其特征在于膜的形状是由蛇形线状组成所需接收面。

6、根据权利要求3、4或5所述的高灵敏探热装置，其特征在于另有一附有超导材料制成的膜的承膜基片固定在液氮控温槽内。

7、根据权利要求6所述的高灵敏探热装置，其特征在于在承膜基片的背面附与正面同样形状的阻值材料，用以实现绝对测量。

8、根据权利要求3所述的高灵敏探热装置，其特征在于超导材料是渗杂的半导体材料。