[发明专利]湿处理装置

权利要求书

1．一种湿处理装置，包括：

处理衬底的室；

夹持衬底的卡盘单元；

设在卡盘单元内的处理液体管；以及

处理液体喷嘴，设置在卡盘单元上并连接到处理液体管，用于将处理液体喷射到衬底上。

2．根据权利要求1的湿处理装置，所述装置包括：

多种类型的处理液体管；以及

多种类型的处理液体喷嘴，连接到多种类型的处理液体管，并且设置在卡盘单元中。

3．根据权利要求1的湿处理装置，其中所述卡盘单元夹持有多个衬底，处理液体喷嘴设置在由卡盘单元夹持的每个衬底的上方。

4．根据权利要求2的湿处理装置，其中所述卡盘单元夹持有多个衬底，多个处理液体喷嘴设置在由卡盘单元夹持的每个衬底的上方。

5．根据权利要求1的湿处理装置，其中所述处理液体为化学液体或清洗液。

6．根据权利要求1的湿处理装置，其中所述卡盘单元包括用于旋转整个卡盘单元的机构。

7．根据权利要求1的湿处理装置，其中所述卡盘单元具有用于夹持各衬底外周边的夹具。

8．根据权利要求5的湿处理装置，其中所述卡盘单元具有用于夹持各衬底外周边的夹具。

9．根据权利要求1的湿处理装置，其中所述衬底为半导体衬底。