[发明专利]钝化层压点腐蚀溶液

说明书

本发明涉及一种用于集成电路工艺制造中的钝化层压点腐蚀的溶液。

目前集成电路钝化层(SIO₂-PSG-SIO₂)压点腐蚀的溶液主要由氟化物、冰醋酸等成份组成。采用此种腐蚀溶液，腐蚀出的钝化层压点铝易发黄、发黑，无光泽，且压点焊接不牢，易造成虚焊，严重影响了集成电路的稳定性和可靠性。

本发明的目的在于提供一种可使集成电路钝化层压点光亮、光滑，铝膜平整具有铝光泽的钝化层压点腐蚀溶液。

本发明的目的是这样实现的：钝化层压点腐蚀溶液，其特点在于：包含有浓度为38％-42％的氟化铵溶液、浓度96％-99．5％的冰醋酸、浓度95％-99．5％的丙三醇及去离子水(DI水)，配比关系如下(体积比)：氟化铵∶冰醋酸∶丙三醇∶DI水为0．8-1∶0．8-1∶0．1-0．3∶0．1-0．3。氟化铵主要对PSGSIO2起腐蚀作用，DI水防止溶液结晶，冰醋酸是一种弱电解质，起缓冲作用，可减少对铝层的损伤，丙三醇是一种非电解质，它的吸湿性快，在溶液中对铝产生吸附作用，当SIO₂腐蚀时，丙三醇以胶体形式吸附在铝层表面，形成一层保护层，阻止铝与溶液发生电化学反应，从而阻止了溶液中的金属离子Ca⁺、Ag⁺、Fe⁺及其它杂质离子，溶液与铝电化反应，避免了这些金属及杂质在铝上沉积，从而使这些金属离子，与溶液中的NH₃结合而溶于水中。

本发明的配制方法：上述浓度及比例关系的氟化铵溶液，放入塑料筒中，再加入上述体积比例的DI水，摇晃均匀，之后加入上述浓度的冰醋酸和丙三醇，配置后进行3-5天溶液充分混合(避免光贮存)后使用，使用为常温。

下面结合实施例对本发明进一步详细描述。

实施例1，取浓度40％的氟化铵溶液1份放入塑料筒中，再加入0．2份的DI水，摇晃均匀，加入浓度99．5％的冰醋酸1份，之后再加入浓度98％的丙三醇0．2份，配置后进行3-5天溶液充分混合(避免光贮存)后使用，使用为常温。配置前要彻底清洗容器、量杯，使用塑料容器，禁止使用石英及玻璃器皿，严防在灰尘杂质带入溶液。

本实施例2，取浓度为38％的氟化铵溶液1份放入塑料筒中，再加入0．3份的DI水，摇晃均匀，加入浓度99．5％的冰醋酸1份，之后再加入的浓度为95％的丙三醇0．3份，配置后进行3-5天溶液充分混合(避免光贮存)后使用，使用为常温。

实施例3，取浓度为42％的氟化铵溶液0．8份放入塑料筒中，再加入0．1份的DI水，摇晃均匀，加入浓度为96％的冰醋酸1份，之后再加入浓度95％的丙三醇0．3份，配置后进行3-5天溶液充分混合(避免光贮存)后使用，使用为常温。

发明与现有技术的优点如下：对钝化层腐蚀速度快、对铝腐蚀速度慢，具有良好的选择比，加上专用的使用方法，克服了压点发黄发黑的缺点，得到了光亮、光滑，有铝光泽的铝压点，使压点腐蚀合格率大大提高。经过一年2万多4英寸的硅片使用，压点腐蚀合格率大超出预料，也相应节约了原材料，加快工艺周期，本发明已完全在科研及生产中使用，达到了优良的效果。