[发明专利]一种脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置无效
| 申请号： | 00123254.1 | 申请日： | 2000-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN1351901A | 公开（公告）日： | 2002-06-05 |
| 发明（设计）人： | 张劲松;杨永进;张军旗;刘强;沈学逊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | B01J19/12 | 分类号： | B01J19/12 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 110015 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 脉冲 微波 强化 高压 低温 等离子体 化学反应 装置 | ||
1、一种脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置，其特征在于：该装置由波导—同轴转换(1)、同轴腔(2)、带重入柱的TM010谐振腔(3)连接构成；同轴腔(2)的内导体(21)深入到TM010谐振腔(3)中，并通过高压引入结构(22)引入等离子体激发电压。
2、按权利要求1所述脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置，其特征在于：所述高压引入结构(22)为电感与电容复合结构，由导电外壳(224)、两个电容片(221)(223)及电感线圈(222)构成，同轴线内导体(21)的一端首先与一个电容片(221)相连，该电容片(221)与同轴线的外导体构成电容I，导电外壳(224)与电容片(223)之间构成电容II，电容片(221)与电容片(223)通过电感线圈(222)相连，由于同轴线的外导体与高压引入结构的导电外壳(224)相接，从而在电路上形成电容I与电容II串联，再与电感并联的结构。
3、按权利要求2所述脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置，其特征在于：所述电容介质材料选用高纯氧化铝时，电容间隙为0.2-2毫米，电感线圈的匝数为5-20匝。
4、按权利要求2所述脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置，其特征在于：所述电容介质为四氟乙烯时，间隙为0.2-1.0毫米，电感线圈的匝数为10-30匝。
5、按权利要求2所述脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置，其特征在于：所述电容介质为氧化镁时，间隙为1.0-3.0毫米，电感线圈的匝数为5-30匝。
6、按权利要求2所述脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置，其特征在于：所述电容介质为尼龙时，间隙为1.5-4.0毫米，电感线圈的匝数为20-60匝。
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