[发明专利]激光加工方法、利用该方法生产喷墨记录头和喷墨记录头

权利要求书

1、一种通过用激光照射工件从而对工件进行激光蚀刻加工的激光加工方法，该方法包括，

在通过把所述激光照射在一掩膜图案上进行加工中，采用在空间和时间中具有非常高能量密度的多种脉冲中的所述激光，该激光从一能够以一不超过1皮秒的脉冲发射时间进行振荡的激光振荡器中发射出来，

动态地改变在所述激光光线通过所述掩膜图案处由光衍射产生出的一种光斑干涉图象，从而形成所述光斑干涉图象的完整图象，以及

产生出一种基本上与掩膜图案一样的图案。

2、一种如1所述的激光加工方法，其特征在于，所述掩膜在光轴的方向上设置并振动，从而在工件的表面上形成所述光斑干涉图象的完整图象。

3、一种如2所述的激光加工方法，其特征在于，所述掩膜的位移振动是由一振动促动器引起的。

4、一种如1所述的激光加工方法，其特征在于，通过在所述掩膜和一投影透镜之间或者在所述投影透镜和所述工件之间，插入一块斜度至少为0λ到λ/2的波长板，并在移动波长板以改变光偏振现象的同时进行激光发射，在工件的表面上形成所述光斑衍射图象的完整图象，

5、一种如1-4任一所述的激光加工方法，其特征在于，所述激光的波长在350到1000nm的范围内。

6、一种如1-5任一所述的激光加工方法，其特征在于，所述激光的脉冲辐射时间不多于500飞秒。

7、一种如1-6任一所述的激光加工方法，其特征在于，所述工件是由一种树脂材料、Si或Si组合物构成的。

8、一种如1-7任一所述的激光加工方法，其特征在于，所述激光振荡器设有一光传播空间压缩装置。

9、一种如8所述的激光加工方法，其特征在于，所述光传播空间压缩装置是由一种线形调频脉冲发生装置和一种利用光波长的发散特性的垂直模式同步装置构成的。

10、一种用于生产一种喷墨记录头的方法，该喷墨记录头包括一用于排出要喷涂在一记录介质上墨滴的油墨排出口，一容纳有供应给所述油墨排出口的油墨的液体腔室，一用于将所述液体腔室与油墨排出口相连通的油墨流动通道，一用于油墨流动通道部分的并产生用于排出油墨能量的能量发生部件，以及一用于从外部提供油墨给所述液体腔室等的油墨供应孔，其中构成至少喷墨记录头的油墨通道的一部分的一部件是通过激光加工做出来的，其特征在于：

将激光投影到一掩膜图案中，激光加工是通过采用在空间和时间中具有非常高能量密度的多种脉冲的所述激光进行的，该激光从一能够以一不超过1皮秒的脉冲发射时间进行振荡的激光振荡器中发射出来，以及

在所述激光光线通过所述掩膜图案处时，由光衍射产生的一光斑干涉图象是被动态地改变的，从而形成所述光斑干涉图象的完整图象并产生出一基本上与掩膜图案一样的图案。

11、一种如10所述的用于生产一种喷墨记录头的方法，其特征在于，所述掩膜在光轴的方向上设置并振动，从而在所述喷墨记录头的表面上形成所述光斑干涉图象的完整图象。

12、一种如11所述的用于生产一种喷墨记录头的方法，其特征在于，所述掩膜的位移振动是由一振动促动器引起的。

13、一种如10所述的用于生产一种喷墨记录头的方法，其特征在于，所述光斑干涉图象的完整图象是形成在喷墨记录头的表面上的，通过在所述掩膜和一投影透镜之间或者在所述投影透镜和所述喷墨记录头之间，插入一块斜度至少为0λ到λ/2的波长板，并在移动所述波长板以改变偏振现象的同时进行激光发射。

14、一种如10-12任一所述的用于生产一种喷墨记录头的方法，其特征在于，构成油墨通道一部分的多个凹进或通孔，是通过激光照射穿过一具有以一定间距形成的多个孔的图案的掩膜同时以一预定距离形成的。

15、一种如14所述的用于生产一种喷墨记录头的方法，其特征在于，所述凹进是一形成所述油墨流动通道的槽。

16、一种如14所述的用于生产一种喷墨记录头的方法，其特征在于，所述通孔形成所述排出口。

17、一种如10-16任一所述的用于生产一种喷墨记录头的方法，其特征在于，所述激光的波长在350-1000nm的范围内。