[发明专利]激光加工法、利用该方法生产喷墨记录头和喷墨记录头

权利要求书

1．一种通过用激光束照射工件而对工件进行激光蚀刻的激光加工法，该方法包括步骤：

在通过把激光束投影在一个掩膜图案上而进行加工时，采用在空间和时间上具有非常高能量密度的多脉冲的激光束，该激光束从一个能够以一个不超过1皮秒的脉冲发射时间进行振荡的激光振荡器中发射出来；以及

通过激光束源和掩模图案之间的相对运动进行扫描照射。

2．如权利要求1所述的激光加工法，其特征在于，激光束源和掩模图案之间的相对运动可以通过在一个垂直于激光束光轴的方向上的一个与激光器振动异步的往复运动来实现，并且掩模图案在工件上是逐步的而且是按顺序地形成的。

3．如权利要求2所述的激光加工法，其特征在于，激光束源和掩模图案之间的相对运动可通过使掩模相对激光束移动来进行的。

4．如权利要求3所述的激光加工法，其特征在于，所述掩模包括一个具有一个预定图案的卷式薄膜，并且该掩模图案的运动是通过用卷绕装置和重绕装置把该卷式薄膜输送进激光束的光路中来实现的。

5．如权利要求3或4所述的激光加工法，其特征在于，与从掩模移动导致的投影透镜的图案图象的运动异步，在垂直于激光束光轴的方向上移动该工件进行工件的蚀刻加工。

6．如权利要求1-3之一所述的激光加工法，其特征在于，投影掩模的投影透镜的投影放大率绝对值为1/20或更小。

7．如权利要求2所述的激光加工法，其特征在于，通过激光束对掩模图案的扫描照射来进行激光束源和掩模图案之间的相对运动。

8．如权利要求7所述的激光加工法，其特征在于，通过这样的照射光线进行扫描照射，即照射光线包括一束从一激光振荡器经一偏向扫描装置聚光在掩模上的激光束，扫描照射与激光振荡不同步。

9．如权利要求8所述的激光加工法，其特征在于，激光加工是通过扫描照射穿过一个光学系统来进行的，该光学系统把激光振荡器的激光束转换成环形激光束。

10．如权利要求9所述的激光加工法，其特征在于，用于把激光振荡器的激光束转换成环形激光束的光学系统包括相互对置的锥形透镜，并且相互对置的锥形透镜的距离在光轴方向是可以变化的，从而环形激光束的外部形状可以膨胀或收缩。

11．如权利要求1所述的激光加工法，其特征在于，所述激光束的波长为350nm-1000nm。

12．如权利要求1所述的激光加工法，其特征在于，激光束的脉冲发射时间为500飞秒或更小。

13．如权利要求1所述的激光加工法，其特征在于，所述工件由一种树脂、Si或一种Si化合物构成。

14．如权利要求1所述的激光加工法，其特征在于，所述激光振荡器设有一个光传播空间压缩装置。

15．如权利要求14所述的激光加工法，其特征在于，所述光传播空间压缩装置包括线形调频脉冲发生装置以及利用了光波长色散特性的垂直模式同步装置。

16．如权利要求14所述的激光加工法，其特征在于，所述光传播空间压缩装置是由利用了光波长色散特性的垂直模式同步方法的线形调频脉冲发生装置以及一个衍射相位光栅构成的。

17．一种生产喷墨记录头的方法，该喷墨记录头包括一个用于排出墨滴要喷涂在一记录介质上的油墨的排墨口、一个容纳有供应给排墨口的油墨的液体腔室、一个用于将所述液体腔室与排墨口相连通的流墨道、一个设置在流墨道的一部分上用于产生排墨能量的能量发生部件、以及一个用于从外部提供油墨给液体腔室的供墨孔，其中构成至少流墨道一部分的一个部件是通过激光加工做出来的，其特征在于：

激光加工是通过用激光束投影一个掩模图案来进行的，采用在空间和时间上具有非常高能量密度的多脉冲激光，该激光从一个能够以一个不超过1皮秒的脉冲发射时间进行振荡的激光振荡器中发射出来；以及

通过激光束源和掩模图案之间的相对运动进行扫描照射。