[发明专利]收集装置有效
申请号: | 00126287.4 | 申请日: | 2000-08-03 |
公开(公告)号: | CN1284613A | 公开(公告)日: | 2001-02-21 |
发明(设计)人: | 野村典彦 | 申请(专利权)人: | 株式会社荏原制作所 |
主分类号: | F15B21/00 | 分类号: | F15B21/00;H01L21/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 刘兴鹏 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 收集 装置 | ||
1.一种收集装置,它包括:
一排气道,用于通过真空泵将气密密封室抽成真空;
一气密密封收集容器,交叉延伸通过上述排气道和邻设于上述排气道的再生通道;
一收集器,位于上述收集容器中以吸附被排放气体中的产物,并从被上述排放气体中去除上述产物,上述收集器有选择地位于上述排气道或上述再生通道上;
一阀门件,位于上述收集器的两侧,可与上述收集器一体移动;
一密封件,安装在上述阀门件的外周表面上,以便上述收集器被移动时能够在上述收集容器的内周表面上滑动。
2.如权利要求1所述的一种收集装置,其特征在于:在上述收集容器中至少设置两个收集器以便同时在上述排气道内实现收集操作和在上述再生通道内实现再生操作。
3.如权利要求1所述的一种收集装置,其特征在于:上述密封件安装在上述阀门件的外周表面上以便向上述收集容器的内周表面扩展。
4.如权利要求3所述的一种收集装置,其特征在于:只有上述密封件被径向扩展时,上述密封件才与上述收集容器的内周表面形成压力接触。
5.如权利要求3所述的一种收集装置,其特征在于:上述阀门件包括通过向外挤压上述密封件而使上述密封件径向扩展的机构。
6.如权利要求5所述的一种收集装置,其特征在于:使上述密封件相对径向扩展的上述机构移动一对相互面对的元件或一对具有锥形表面的元件以使它们能够相互远离和接近,上述锥形表面相互面对,并具有一个在水平截面外延的V字形状。
7.一种收集装置,它包括:
一排气道,通过真空泵将气密密封室抽成真空;
一气密密封收集容器,具有一进气口和一出气口,并构成上述排气道的一部分;
一收集器,位于上述收集容器内,吸附排放气体中的产物并将上述产物从上述排放气体中去除;
一节流阀部分,位于上述收集容器的吸气口,用于调节上述吸气口的排放气体的流量,以便上述排放气体流向上述收集器内部。
8.如权利要求7所述的一种收集装置,其特征在于:上述收集器包括一具有弯曲收集表面的挡板。
9.如权利要求8所述的一种收集装置,其特征在于:上述收集表面是弧形状,上述弧形的轴线穿过上述排气道。
10.一种收集装置,它包括:
一排气道,通过真空泵将气密密封室抽成真空;
一气密密封收集容器,具有一进气口和一出气口,并构成上述排气道的一部分;
一收集器,位于位于收集容器内,吸附排放气体中的产物并将上述产物从上述排放气体中去除;
一抑制器,位于上述收集容器的排气口,用于抑制上述排气口的排放气体的流量。
11.如权利要求10所述的一种收集装置,其特征在于:上述收集器包括一具有弧形收集表面的挡板。
12.如权利要求11所述的一种收集装置,其特征在于:上述收集表面是弧形状,上述弧形的轴线穿过上述排气道。
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