[发明专利]场致发光装置和用于制造场致发光装置的方法

说明书

本发明涉及电光装置，一般作为EL(场致发光)显示装置，并涉及具有作为显示器的电光装置的电子装置(电子设备)。

近些年来，电光装置，一般作为具有能够场致发光的有机材料的EL(场致发光)显示装置得到了快速发展。具有两类EL显示装置，即无源阵列型EL显示装置和有源阵列型EL显示装置。

不论是无源阵列型或是有源阵列型，EL显示装置具有电容器结构，其中具有被阴极和阳极夹在中间的EL层(在本说明中具有这种结构的元件被称为EL元件)，并且这种EL显示装置的操作原理是借助于电流的流动使EL层发光。金属电极一般被用作阴极，它是一个电子源，并且，一般使用透明的导电膜作为阳极，阳极是一种空穴源。之所以这样作是因为如果一对电极中的都不透明，则从发光层发出的光则不能被提取。

在这种情况下，由EL层发出的光直接地向阳极侧输出，指向阴极侧的光在被阴极反射之后，也向阳极侧输出。换句话说，观看者需要从阳极侧观看显示装置。

然而，具有相应于发光层的材料的波长的光可以从发光的一部分EL层看到，但是在不发光的一部分EL层中，通过阳极和EL层可以看到电极(发光层一侧)的背面侧的表面。这意味着，因此电极的背面作为一个反射镜，因而观察者的面部被反射。

为了克服这个问题，采用一种在EL显示装置上附加一种圆形偏振膜的方法，使得观察者的面部不被反射，但是这样作的问题在于，圆形偏振膜的成本极高，因而导致制造成本的增加。

本发明便是为了解决上述问题而作出的，因而本发明的目的在于提供一种避免反射的EL显示装置，并提供一种成本低的EL显示装置，其中EL显示装置的制造成本被减少。此外，本发明的目的在于降低具有利用EL显示装置的显示器的电子设备的成本。

本发明的特征在于，在阴极的反射表面(接触发光层侧的表面)上形成凸起部分，因而由阴极的反射表面反射的光被散射。即，本发明的特征在于，阴极的反射表面通过漫射地(无规则地)反射通过使用阴极的反射表面从阳极侧入射的可见光(外部光)被制成对观察者是不可见的表面。

在阴极的反射表面上形成的组织粗糙的部分可以通过凹形的凹陷而被形成，或者通过凸形的凸起而被形成、此外，也可以使用其中具有重复的不平整度的波浪形的表面。凸起部分可以使用例如光刻技术或全息照相术制成(例如在Sharp TechnologyReports,No.74,pp.16-9,Aug.1999中记载的用于形成粗糙的反射结构的技术)，并且也可以通过表面处理例如等离子体处理或刻蚀技术制成。此外，凸起部分也可以通过使用阴极(或基本电极)的膜淀积条件被自然地形成。

换句话说，凸起部分的结构可以是规则的或非规则的，但是其必须被这样形成，使得能够平均扩散的反射(不规则的反射)。在本说明中，其中按照上述形成有凸起部分的结构被称为纹理结构。

此外，通过在和阴极接触的其它薄膜中形成凸起，然后在其顶部形成阴极，可以在阴极的反射表面上形成凸起部分。具体地说，日本专利申请公开No.Hei 9-69642和日本专利申请公开No.Hei 10-144927可被引用作为在铝膜中形成凸起部分的方法。即，通过根据上述专利申请形成铝膜，并通过在所述铝膜的顶部叠置上阴极，便可以获得具有凸起部分的阴极。

在附图中：

图1表示EL显示装置的像素部分的截面结构；

图2表示放大的EL元件；

图3A和图3B表示EL显示装置的像素部分的顶面结构和电路结构；

图4A-4E表示用于制造有源阵列型EL显示装置的处理；

图5A-5D表示用于制造有源阵列型EL显示装置的处理；

图6A-6C表示用于制造有源阵列型EL显示装置的处理；

图7表示EL组件的外观；

图8表示EL显示装置的电路方块结构；

图9是EL显示装置的像素部分的放大图；

图10表示EL显示装置的试样电路的元件结构；

图11A、11B表示EL组件的外观；

图12A-12C表示用于制造接触结构的处理；

图13表示EL显示装置的像素部分的组成；

图14表示EL显示装置的像素部分的组成；

图15表示薄膜形成设备的外观；

图16表示简单阵列型的EL显示装置的外观；

图17A-17F表示电子设备的特定例子；

图18A-18E表示用于制造有源阵列型EL显示装置的处理；以及

图19A-19D表示用于制造有源阵列型EL显示装置的处理。