[发明专利]通过检测氧化物/氮化物界面使化学机械平面化过程最佳有效
| 申请号： | 00128638.2 | 申请日： | 2000-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN1155815C | 公开（公告）日： | 2004-06-30 |
| 发明（设计）人： | 李乐平;詹姆斯·A·吉尔胡利;克里福德·O·摩根;韦淙 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G01N21/76 | 分类号： | G01N21/76;B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 杜日新 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 通过 检测 氧化物 氮化物 界面 化学 机械 平面化 过程 最佳 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国际商业机器公司，未经国际商业机器公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/00128638.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：散射浊度计和比浊计组合
- 下一篇：固体电介质复介电常数测量方法
