[发明专利]化学机械研磨异常探测装置

权利要求书

1.一种化学机械研磨异常探测装置，包括：

一电动机，用以产生化学机械研磨的动力；

一逆变器，连接至该电动机，将一直流电源转换为一交流电源，并将该交流电源供应给该电动机；

一控制电路，连接至该逆变器，控制该逆变器所输出的该交流电流的大小及工作与否；

一传感器，连接至该电动机与该控制电路之间，将该电动机的转速转换为一转速信号，并输出该转速信号至该控制电路；以及

一探测器，连接至该控制电路，探测该逆变器输出至该电动机的该交流电流的大小，以输出一停机信号至该控制电路。

2.如权利要求1所述的化学机械研磨异常探测装置，其中该电动机是一三相交流感应电动机。

3.如权利要求1所述的化学机械研磨异常探测装置，其中该逆变器是将该直流电源转换为三相交流电源。

4.如权利要求1所述的化学机械研磨异常探测装置，其中该传感器是转速传感器。

5.如权利要求1所述的化学机械研磨异常探测装置，其中该探测器包括一电流探测器、一中继控制器与一机械研磨控制器。

6.一种化学机械研磨异常探测装置，包括：

一电动机，用以产生化学机械研磨的动力；

一逆变器，连接至该电动机，将直流电源转换为交流电源，并将该交流电源供应给该电动机；

一控制电路，连接至该逆变器，控制该逆变器所输出的该交流电流的大小及工作与否；

一转速传感器，连接至该电动机与该控制电路之间，将该电动机的转速转换为一转速信号，并输出该转速信号至该控制电路；

一电流探测器，检测该电动机的该交流电流的大小，以输出一电流信号；

一中继控制器，连接至该电流互感器，接收该电流互感器的该电流信号，以输出一驱动信号；以及

一机械研磨控制器，连接至该中继控制器与该控制电路之间，接收该中继控制器的驱动信号，以输出一停机信号至该控制电路。

7.如权利要求6所述的化学机械研磨异常探测装置，其中该电动机是三相交流感应电动机。

8.如权利要求6所述的化学机械研磨异常探测装置，其中该逆变器是将该直流电源转换为三相交流电源。

9.如权利要求6所述的化学机械研磨异常探测装置，其中该电流探测器是电流互感器。