[发明专利]激光腐蚀方法及其装置

权利要求书

1．一种借助于用来自能够依次发射脉冲辐照时间不超过1皮秒的在空间和时间上大能量密度的光脉冲的激光振荡器的激光来辐照无机材料组成的工件的用于光学烧蚀加工的激光腐蚀方法：

其中，在用来自具有预定图形和具有预定能量密度的所述激光振荡器的激光进行其辐照的由所述无机材料组成的工件的激光腐蚀过程中，利用了防止工作副产品在腐蚀位置周围沉积的装置。

2．根据权利要求1的激光腐蚀方法，其中用来防止工作副产品在腐蚀位置周围沉积的所述装置，在用所述激光辐照所述工件的过程中，被用来以具有长于脉冲激光器振荡频率的间隔来执行对所述工件的间歇辐照。

3．根据权利要求1的激光腐蚀方法，其中用来防止工作副产品在腐蚀位置周围沉积的所述装置，在用所述激光辐照所述工件的过程中，被用来在所述工件的加工位置中产生气体流的状态下执行所述光的辐照。

4．根据权利要求3的激光腐蚀方法，其中所述工件的加工位置中的气体流是空气流。

5．根据权利要求3的激光腐蚀方法，其中所述工件的加工位置中的气体流是氮气流。

6．根据权利要求1的激光腐蚀方法，其中用来防止工作副产品在腐蚀位置周围沉积的所述装置，在用所述激光辐照所述工件的过程中，被用来在所述工件被置于空气以外的气氛中的状态下执行所述激光的辐照。

7．根据权利要求6的激光腐蚀方法，其中空气以外的所述气氛，是其媒质的原子量小于氮分子的原子量的气体。

8．根据权利要求7的激光腐蚀方法，其中所述气体是氦气。

9．根据权利要求7的激光腐蚀方法，其中所述气体是氢气。

10．根据权利要求6的激光腐蚀方法，其中空气以外的所述气氛是其媒质透射激光的液体。

11．根据权利要求10的激光腐蚀方法，其中所述透射激光的液体是水。

12．根据权利要求10的激光腐蚀方法，其中所述透射激光的液体是硅酮油。

13．根据权利要求1的激光腐蚀方法，其中用来防止工作副产品在腐蚀位置周围沉积的所述装置，在用所述激光辐照所述工件的过程中，被用来在所述工件被加热到200℃或以上的状态下执行所述激光的辐照。    

14．根据权利要求1的激光腐蚀方法，其中用来防止工作副产品在腐蚀位置周围沉积的所述装置，在用所述激光辐照所述工件的过程中，被用来在所述工件被提供在压力不超过10乇的气态气氛中的状态下执行所述激光的辐照。

15．根据权利要求1的激光腐蚀方法，其中的所述无机材料是共价键晶体。

16．根据权利要求1的激光腐蚀方法，其中的所述无机材料是晶体或非晶硅。

17．根据权利要求1的激光腐蚀方法，其中的所述无机材料是硅化合物。

18．根据权利要求1的激光腐蚀方法，其中的所述激光振荡器具有用于光传播的空间压缩器件。

19．根据权利要求18的激光腐蚀方法，其中用于光传播的所述空间压缩器件包含啁啾脉冲发生装置和利用光学波长弥散特性的垂直模式同步装置。

20．一种配备有能够依次发射脉冲辐照时间不超过1皮秒的空间和时间上大能量密度的光脉冲的激光振荡器，并被用来以来自具有预定图形和预定能量密度的所述激光振荡器的激光，借助于辐照所述工件而对由无机材料组成的工件进行光学烧蚀加工的激光腐蚀装置，此装置包含：

用来防止辐照无机材料组成的所述工件的激光腐蚀在腐蚀位置周围沉积工作副产品的装置。

21．根据权利要求20的激光腐蚀装置，其中用来防止工作副产品在腐蚀位置周围沉积的所述装置，包括借助于用开/关控制来控制来自所述激光振荡器的激光而用来得到间隔长于脉冲激光的振荡频率的间歇辐照，从而加工所述工件的机械快门。