[发明专利]闪蒸器皿无效
申请号: | 00135062.5 | 申请日: | 2000-12-14 |
公开(公告)号: | CN1358880A | 公开(公告)日: | 2002-07-17 |
发明(设计)人: | J·M·莫里斯 | 申请(专利权)人: | 先进陶瓷公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 周备麟 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 闪蒸 器皿 | ||
1.一种小型化的用于在一个有限的区域内闪蒸金属填料的蒸发皿,包含一个具有大致马蹄形几何构形的同质体,它有相反的端头和一个上部,所述上部有一凹坑,用于容纳要蒸发的金属填料,还有两条悬腿部,它们从所述相反端头向下伸展,最靠近凹坑的每条腿的横截面尺寸显著小于每条腿部该处后缩的这部分的横截面尺寸,从而在凹坑下面形成一个大开口区。
2.一种按权利要求1所述的小型化蒸发皿,其特征在于所述金属填料选自一组包括铝、铜、锡和银在内的金属。
3.一种按权利要求2所述的小型化蒸发皿,其特征在于所述同质体由选自包括二硼化钛、氮化硼、氮化铝、由热解氮化硼复盖的石墨一类及其组合的陶瓷复合物构成。
4.一种按权利要求3所述的小型化蒸发皿,其特征在于每条腿的横截面尺寸是均匀一致的,但最靠近凹坑的区域除外。
5.一种按权利要求4所述的小型化蒸发皿,其特征在于每条腿最靠近凹坑处的横截面尺寸和每条腿其余部分均匀的横截面尺寸之比约为1∶3或更大。
6.一种按权利要求5所述的小型化蒸发皿,其特征在于每条腿至少包含一个孔,适于将所述器皿和一个外界电源连接。
7.一种按权利要求6所述的小型化蒸发皿,其特征在于每条腿上有两个间隔规定距离的孔,适于将所述器皿和一个外界电源连接。
8.一种按权利要求4所述的小型化蒸发皿,其特征在于所述大开口区的宽度大致上和凹坑的宽度相等。
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