[发明专利]液晶显示装置的制造装置和液晶显示装置的制造方法

权利要求书

1．一种液晶显示装置的制造装置，具备：

对液晶显示装置的基板(11)进行清洗的清洗处理室(1a、1b、44)；

对于在上述清洗处理室中清洗完毕的上述基板进行成膜处理的成膜处理室(2)；

从上述清洗处理室向上述成膜处理室移送上述基板而不暴露于外气中的外气隔断移送装置(3、4、18、48)。

2．权利要求1所述的液晶显示装置的制造装置，上述外气隔断移送装置(3、4、18、48)，具备既是从上述清洗处理室(1a、1b、44)到上述成膜处理室(2)移送上述基板的通路，又隔断外气的外气隔断通路(48)、和在该外气隔断通路内搬运上述基板的搬运机。

3．权利要求1所述的液晶显示装置的制造装置，上述外气隔断移送装置具备把在上述清洗处理室内清洗完毕的上述基板搬运至可以与外气隔断的密闭基板盒(18)内而不会暴露于外气中的基板搬入装置(4、45)，和在上述成膜处理室中从上述密闭基板盒内取出上述基板的基板取出装置(4、46)。

4．权利要求1所述的液晶显示装置的制造装置，还具备基板盒装载室(5)和具有搬运机器人(4)的搬运机器人室(3)，上述基板盒装载室(5)、上述清洗处理室(1a、1b、44)和上述成膜处理室(2)都被配置在上述搬运机器人(4)的周围，并与上述搬运机器人室(3)进行连络以便可以用上述搬运机器人(4)送入送出上述基板(11)。

5．权利要求2所述的液晶显示装置的制造装置，还具备既是与上述外气隔断通路进行连络且已与外气隔断的处理室，又对上述基板施行退火处理的退火处理室。

6．权利要求5所述的液晶显示装置的制造装置，在上述退火处理室中，具备可以对上述基板进行激光退火处理的光学调整单元。

7．权利要求2所述的液晶显示装置的制造装置，上述成膜处理室(2)具备与上述外气隔断通路进行连络的第1成膜处理室和与上述外气隔断通路进行连络的第2成膜处理室。

8．权利要求2所述的液晶显示装置的制造装置，上述外气隔断通路(48)具有与外气大体上隔断的那种程度的不严密的密封构造，在上述外气隔断通路的内部，对上述基板呈现惰性的惰性气体，对于外气保持正压力。

9．权利要求3所述的液晶显示装置的制造装置，上述密封基板盒(18)具有与外气大体上隔断的那种程度的不严密的密封构造，在上述密封基板盒的内部，对上述基板呈现惰性的惰性气体，对于外气保持正压力。

10．权利要求8所述的液晶显示装置的制造装置，还具备化学过滤器(7)，通过该化学过滤器把上述惰性气体导入上述外气隔断通路(48)。

11．权利要求9所述的液晶显示装置的制造装置，还具备化学过滤器(7)，通过该化学过滤器把上述惰性气体导入上述密闭基板盒(18)。

12．一种液晶显示装置的制造方法，具备：

把在玻璃基板(11)的上边具有基底膜(62)的基板装入清洗处理室(1a、1b、44)内进行清洗处理的工序；

从上述清洗处理室内取出上述清洗完毕的基板，不暴露于外气中地装入成膜处理室(2)内的工序；

在上述成膜处理室中在上述基板的上边形成非晶硅膜的工序。

13．权利要求12所述的液晶显示装置的制造方法，具备在形成了上述非晶硅膜之后，接着，不暴露于外气中地使已形成了上述非晶硅膜的基板进行退火，使之变成为多晶硅膜的工序。

14．权利要求13所述的液晶显示装置的制造方法，在形成上述多晶硅膜的工序之后，具备接着不暴露于外气中地移送到另外的成膜处理室中去的工序，和在该另外的成膜处理室内，在上述多晶硅膜的上边形成栅极绝缘膜(65)的工序。