[实用新型]应用于标准机械介面双导螺杆倍行程与螺纹差动取放机构

说明书

本实用新型是关于一种应用于标准机械介面的双导螺杆倍行程与螺纹差动取放机构，特别是关于一种籍由导螺杆与螺帽间的传动与螺纹差动相互连动原理，而达到可倍行程与差动运动效果的应用于标准机械介面双导螺杆倍行程与螺纹差动取放机构。

有鉴于半导体厂中，厂房使用空间的限制、无尘室使用维护费用的高昂及对洁净度的严格要求，于是发展出标准机械界面(SMIF)的概念与机台设计，用来区隔机台与操作人员使用的不同洁净度无尘室等级的设计，以减少粉尘污染的机会，并提高无尘室的洁净度的等级及降低维护成本，提升集成电路(IC)晶圆生产良率，其中，标准机械界面手臂(SMIF ARM)的设计更形重要。当SMIF ARK结合在制程设备机台时，传送臂须前进到制程机台中去抓取晶舟(cassette)，当ARM收回时更需能移至SMIF机台的中心点，因此夹爪需移动约两倍螺杆进给长度的距离。本实用新型在设计出能达到此行程，且其所占机台尺寸能更优于现行产品设计者，同时能达到洁净(classl)程度的洁净需求。另外IC晶圆制程环境洁净程度要求愈来愈高。在ARM的夹爪取放机引起震动，再则运动连杆数目设计得愈多，愈会造成粉尘微粒的产生，及机构抖动。习用的SMIF ARM设计，有的是利用肘节摇臂机构，利用Z轴上下、夹爪运动的方式来完成晶舟取放动作(如ASIST公司设计)；有的是于机台内侧边装置一只无杆气压缸机构，做为夹爪的前后往复进给，达到取放晶舟的目的(INFAB公司设计)；或是于机台上方设置一组机械手臂，利用手臂伸长与缩回的机构动作，达到取放晶舟的动作(FORTREND公司设计)，另一种于机台内侧边装置单一支导螺杆，并配合时规皮带轮达到夹爪倍行程，以取放晶舟(工研院机械所)。但上述机构不是因机构太过复杂，而造成机械运作时产生相互摩擦机率增加，提高微粒粉尘的生成，就是造价昂贵，维护成本高。因此，如上所述，要如何防止粉尘微粒的产生及将之有效率隔离及如何减化机构设计亦是本实用新型的主要重点。

本案实用新型人鉴于上述习用应用于标准机械介面的双导螺杆倍行程与螺纹差动取放机构所衍生的各项缺点，乃亟思加以改良创新，并经多年苦心孤诣潜心研究后，终于成功研发完成本件应用于标准机械介面双导螺杆倍行程与螺纹差动取放机构。

本实用新型的目的即在于提供一种应用于标准机械介面双导螺杆倍行程与螺纹差动取放机构，该双导螺杆倍行程机构由于采用双导螺杆连动机构便可达到倍行程目的，因可大幅减少机台纵深长约1／2，故对于机台所占的空间亦可大幅减少。与市场产品的比较，机台尺寸变小，机构刚性更强，行程更长，ARM所占的空间为最小。

本实用新型的次一目的是在于提供一种应用于标准机械介面双导螺杆倍行程与螺纹差动取放机构，该双导螺杆倍行程机构在机台设置时，可采外罩的方式密封SMIF ARM传动机构，可大幅减少粉尘微粒(particle)的产生及飞散。

本实用新型的另一目的是在于提供一种应用于标准机械介面双导螺杆倍行程与螺纹差动取放机构，该双导螺杆倍行程机构由于在设计上采用线性滑轨及导螺杆间的最佳化设计，利用其相互的支撑，固定及滑移，可大幅增加运动机构的刚性，并可减少末端取放机构夹爪震动的发生。

本实用新型的又一目的是在于提供一种应用于标准机械介面双导螺杆倍行程与螺纹差动取放机构，其中该螺纹差动取放机构由于传动轴传动的一致性，可减少末端夹爪抓取失误的发生。

本实用新型的再一目的是在于提供一种应用于标准机械介面双导螺杆倍行程与螺纹差动取放机构，其中该螺纹差动取放机构造简单，可大幅减少末端夹爪的重量及机构的复杂度，因此亦可减少机构的震动及惯性的发生。

本实用新型的他一目的是在于提供一种应用于标准机械介面双导螺杆倍行程与螺纹差动取放机构，其中该螺纹差动取放机构各机构元件接触变少，减少因相互摩擦而产生的粉尘微粒。

具有上述优点的本件应用于标准机械介面双导螺杆倍行程与螺纹差动取放机构，包括有：