[实用新型]物体振动振幅的光学测量仪

权利要求书

1．一种物体振动振幅的光学测量仪，包括：光源(1)，沿光源(1)发射的线偏振光束(G₀)前进方向上，与光源(1)同光轴(O-O)地依次置有第一透镜(2)、第二透镜(3)和分束器(5)；分束器(5)透射光束(Gt₁)的光路上置有偏振变换器(11)和被测物体(12)；在分束器(5)相对光源(1)的反射面上的反射光束(Gf₁)的光路上置有参考衰减反射器(4)；分束器(5)相对被测物体(12)的反射面上的反射光束(Gf₂)的光路上置有第三透镜(6)和光电接收元件(7)；光电接收元件(7)输出的电信号通过放大器(13)和数据采集卡(14)输入计算机(15)；其特征在于分束器(5)和偏振变换器(11)之间，与分束器(5)和偏振变换器(11)同光轴(O-O)地置有偏振分束器(8)；偏振分束器(8)相对被测物体(12)反射面的反射方向与光源(1)光轴(O-O)垂直的方向上置有第四透镜(9)；第四透镜(9)的焦点处置有光折变晶体(10)。

2．根据权利要求1所述的物体振动振幅的光学测量仪，其特征在于所说的光源(1)是气体激光器，或者是半导体激光器，或者是固体激光器。

3．根据权利要求1所述的物体振动振幅的光学测量仪，其特征在于所说的光折变晶体(10)是钛酸钡晶体，或者是钾钠铌酸锶钡晶体，或者是铌酸锶钡晶体。

4．根据权利要求1所述的物体振动振幅的光学测量仪，其特征在于所说的参考衰减反射器(4)是由两面分别镀析光膜和增透膜的平行平板(401)与衰减片(404)构成、或者是由两面分别镀析光膜和增透膜的平行平板(401)和两个起偏器(402，403)构成，或者是由一块两面分别镀析光膜和增透膜的平行平板构成。

5．根据权利要求1所述的物体振动振幅的光学测量仪，其特征在于所说的偏振分束器8是偏振分光棱镜，或者是偏振平行平板。

6．根据权利要求1所述的物体振动振幅的光学测量仪，其特征在于所说的偏振变换器11是法拉第旋转器，或者是四分之一波片。