[实用新型]易于排空盛放液体的玻璃缸无效

专利信息
申请号: 00221148.3 申请日: 2000-07-22
公开(公告)号: CN2433208Y 公开(公告)日: 2001-06-06
发明(设计)人: 王珏庭 申请(专利权)人: 中国华晶电子集团公司
主分类号: B65D47/16 分类号: B65D47/16;B65D13/02
代理公司: 无锡市专利事务所 代理人: 聂汉钦
地址: 214061*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 易于 排空 盛放 液体 玻璃缸
【说明书】:

实用新型属于石英或玻璃容器,具体涉及盛放酸液等强腐蚀液的石英玻璃缸。

半导体制造等工业中,常用强氧化性溶液作为材料硅片等的清洗液。强氧化性溶液(例如强酸、强碱以及双氧水等)常用石英玻璃缸盛放,清洗一定量的硅片之后,缸中的酸或碱液成为废液,而需要排空,以便更换新的酸液或碱液等。

现有的石英玻璃缸均为正方体型或长方体型的槽式容器。当容积超过5升,缸里的废酸液等要排空时,由于具有强腐蚀以及温度高,倾倒费力又危险,废液外溅会危及人身安全,且易将石英缸损坏。

本实用新型的目的在于提供一种易于排空所盛放液体的玻璃缸,其操作省力、方便、安全。

本实用新型由缸底及缸壁相密封连接构成,特征在于穿过缸壁装置缸吸管。

其进一步特征是所说虹吸管是U形管。

由于在缸壁面装置虹吸管,缸里的废液等要排空时,不必倾倒装有许多废液的笨重石英缸体,也不必等特其中废液冷却,只需将缸中废液的液位适当升高,例如再加入适量的废液或水(对双氧水废液),或者加入玻璃球体等,使液面高于虹吸管内最高位,利用内外压差,即可自动连续排出废液,其操作省力,方便、安全。

图1是现有石英玻璃缸图;

图2是本实用新型剖示图。

以下结合附图对本实用新型进一步说明。

见图2,本实用新型由缸底4及缸壁1相密封连接而成,缸底、缸壁可以由石英玻璃或其他玻璃制作。本实用新型可以是方形、长方形或圆形等。穿过缸壁1装置虹吸管3,其有缸内管部分以及缸外管部分。缸中装置废液5,虹吸管3的缸内管部分中的废液液面与缸中液面相平。当要将废液5从缸中排空时,只要加入适量废液或水,或加入一有柄的玻璃球体,使缸中废液液面升高,相应虹吸管3缸内管中部分的液面也相应等值升高。当废液5的液面升高至虹吸管中最高部位2处时,废液5通过虹液管3流出缸外,由于虹吸作用,缸中废液绝大部分被排空,最后留下极少量低于虹吸入口水平位置的废液,倾倒掉,并清洗缸体。当虹吸管入口与虹底面持于等高位置,虹吸管出口低于入口位置,可以将缸中废液基本排空。

本实用新型缸体用料最佳方案用石英玻璃制作。虹吸管也用石英玻璃管,烧制使穿过缸壁,并用石英玻璃珠将其烧制固定于缸壁。

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