[实用新型]非铁基表面硅化钛涂层装置

权利要求书

1．一种非铁基表面硅化钛涂层装置，其特征在于：内罩有一个通氮气的进气管[2]和一个通气源气的喇叭口位于当中向下的进气管[3]的，外罩有3～6个均匀分布的出气管[4]的，内罩下边沿短于外罩下边沿的顶端固连成一体的双层石英玻璃钟罩[1]，布置在圆形固定支承架[8]上，在双层石英玻璃钟罩[1]的外罩与固定支承架[8]之间设置密封圈[7]，在固定支承架[8]中间依次布置圆形的电炉[10]、基座[5]，转轴[12]从下面通过固定支承架[8]、电炉[10]的中心孔与基座[5]固连，在电炉[10]与密封圈[7]之间的固定支承架[8]下面布置水冷却管[9]，在电炉[10]下面的转轴[12]上设置水冷却套[11]。

2．根据权利要求1所述的非铁基表面硅化钛涂层装置，其特征在于：在固定支承架[8]中间设置布置电炉[10]、基座[5]的凹穴。

3．根据权利要求1或2所述的非铁基表面硅化钛涂层装置，其特征在于：在电炉[10]和基座[5]之间布置一层石英片[6]。