[实用新型]表面加工设备研磨盘平面的修正装置

说明书

本实用新型涉及一种对表面研磨装置-研磨盘平面进行修正的装置。

表面研磨是对石英、硅、玻璃、陶瓷等材料片的表面加工，使其达到一定的厚度、光洁度、平面度的方法。研磨盘是通常的表面加工设备，研磨盘的研磨平面的平面度将直接影响表面及其它加工指标的精度和质量。为了保证研磨盘平面的平面度，国内外均采用研磨修正轮的方式进行研磨修正。其具体方式是，在研磨盘的外围设置与之不相接触的内齿圈，研磨盘中心孔位置设置与之不相接触的太阳轮，太阳轮带有外齿，在内齿圈与太阳轮之间啮合3～4个修正轮。该方式虽然能够减缓研磨盘平面的变形，但修正轮的直径小于研磨盘的半径，修正效果不理想。使用一段时间后研磨盘出现伞状、锥状变形，需要采用其它的方法如平面磨床等设备再来修平研磨盘。费用高、操作烦琐，也严重影响了研磨盘的利用率。表面研磨要求的精度越高，越难保持研磨盘平面的平面度。

本实用新型提供的表面加工设备研磨盘平面的修正装置是对现有研磨盘修正装置的改进，对研磨盘修平效果好，提高研磨盘的利用率。

本实用新型的表面加工设备研磨盘平面的修正装置，包括处于研磨盘外围的内齿圈，设置在研磨盘中心位置的太阳轮，太阳轮的外圈为齿轮，其特征在于与内齿圈啮合一修正轮，修正轮的直径大于研磨盘半径小于其直径且修正轮的轮面处于研磨盘盘面上，在修正轮的内径与太阳轮之间啮合一定位轮，修正轮的内径与太阳轮不接触，内齿圈、修正轮、定位轮、太阳轮的中心在同一条直线上。

修正轮的直径大于研磨盘的半径，利用内齿圈带动，定位轮定位并形成公转和自转，使修正轮的运动轨迹为重叠覆盖整个修正面(研磨盘盘面)的游星线轨迹。长期使用，不会使研磨盘出现伞状、锥状等变形，修平效果好，不需要另外的修平设备补充修正，因而费用低，操作简化，保证了研磨盘的使用寿命，提高了利用率。

为了保证使用效果，修正轮的轮面宽度可以为研磨盘盘面宽度的30％～90％，最好为40％～70％。本实用新型所说的研磨盘盘面宽度为研磨盘的外径与内径之差，同样修正轮的轮面宽度为修正轮的外径与内径之差。经过修正轮与内齿圈的啮合点的直径线上，相对的一侧修正轮的内径点与研磨盘盘面的内边缘点重合。

定位轮可以是实心的，也可以是空心的。

下面结合实施例附图说明：

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的使用状态参考图。

图中：1内齿圈 2研磨盘 3修正轮 4太阳轮 5定位轮 6支架和传动装置

本实用新型是对研磨盘平面进行修正，如图，由内齿圈1、修正轮3、定位轮5、太阳轮4组成，内齿圈1位于研磨盘2外围的位置，但不与研磨盘边缘接触。太阳轮4位于研磨盘2中心孔位置，也不与研磨盘接触，有一间隙。在内齿圈内啮合修正轮3，在修正轮的内径与太阳轮间啮合定位轮5，但修正轮的内径与太阳轮不接触。内齿圈、修正轮、定位轮、太阳轮及研磨盘的中心在一条直线上。经过修正轮与内齿圈的啮合点的直径线上，相对的一侧修正轮的内径点与研磨盘盘面的内边缘点重合(图中位置所示)，这样保证修正轮的运动轨迹都在研磨盘的盘面上。修正轮的轮面宽度为研磨盘盘面宽度的60～70％。这样修正轮的运动轨迹为重叠覆盖整个修正面(研磨盘盘面)的游星线轨迹。

图2为使用状态参考图，研磨盘及修正装置靠支架固定、组合，由支架上的传动装置带动，其运行方式同现有技术的方式，可以是内齿圈、修正轮、太阳轮同向转动，也可以是不同向转动，这些都由传动装置操纵。