[实用新型]变温的高阻半导体材料光电测试装置

说明书

本实用新型涉及一种半导体材料光电测试装置，特别是指一种变温的高阻半导体材料光电测试装置。

可改变温度的用于半绝缘材料的光电特性测试装置，现有的设备只能在很短的温度范围内进行测量，且无法判别参与荷电状态的载流子的性质，而在高阻半导体材料的研究中在低温段的杂质、缺陷能级位置的确定及载流子导电类型的判别是十分重要的。现有设备无法满足高阻半导体材料测试的这些要求。

本实用新型的目的在于，提供一种变温的高阻半导体材料光电测试装置，其是使被测高阻样品置于一个外加的磁场中进行变温光电测量，能分辨载流子导电的类型。

本实用新型的另一目的在于，提供一种变温的高阻半导体材料光电测试装置，其具有结构简单合理和操作方便的优点。

本实用新型一种变温的高阻半导体材料光电测试装置，其特征在于，其中包括：一真空腔，该真空腔为圆柱体，该真空腔内为真空室；一真空室上罩，该真空室上罩罩扣于真空腔的上面；一真空室底盘，该真空室底盘用螺丝固定在真空腔的下面，该真空室底盘的中间有一通孔；一冷井，该冷井为圆桶体，其上下端均封闭，在其下端开有两通孔；一样品座，该样品座固定在冷井的上端。

其中该真空腔的侧壁上开有供接线端引出的小孔，在该小孔的外面有封闭盖；在真空腔的内壁的上下端形成有环状凸台。

其中该冷井的外周壁面固定有金属膜加热器，该冷井下端两通孔分别为液氮的入口和出口，并与液氮管路相连接。

其中该样品座的断面概似一工字形，其上有一传感器，下面有一磁铁。

其中在真空腔内壁的凸台上固定有两个接线柱，该接线柱为绝缘材料制成，该接线柱上固定有探针。

其中该接线端包括：第一接线端、第二接线端、第三接线端，其第一接线端与探针连接，第二接线端与样品座连接，第三接线端与金属膜加热器连接。

其中该真空室上罩的中间开有一观察孔，该观察孔上有一透明盖。

其中在真空腔与真空底盘、真空腔与真空室上盖之间有一真空密封圈。

其中在观察孔和透明盖之间有一真空密封圈。

为进一步说明本实用新型的结构和特征，以下结合实施例及附图对本实用新型作一详细描述，其中：

图1为本实用新型的结构剖面图。

请参阅图1所示，一种变温的高阻半导体材料光电测试装置，其中包括：

一真空腔10，该真空腔10为圆柱体，该真空腔10内为真空室17；其中该真空腔10的侧壁上开有供接线端16引出的小孔13，在该小孔13的外面有封闭盖14；在真空腔10的内壁的上下端形成有环状凸台11、12；其中在真空腔10内壁的凸台11上固定有两个接线柱15，该接线柱15为绝缘材料制成，该接线柱15上固定有探针90。

一真空室上罩20，该真空室上罩20罩扣于真空腔10的上面；该真空室上罩20的中间开有一观察孔51，该观察孔51上有一透明盖52，该观察孔51可随时观察样品的测试过程。

一真空室底盘30，该真空室底盘30用螺丝固定在真空腔10的下面，该真空室底盘30的中间有一通孔31，该通孔31供液氮管路60通过。

一冷井40，该冷井40为圆桶体，其上下端均封闭，在其下端开有两通孔41、42；该冷井40下端两通孔41、42分别为液氮的入口和出口，并与液氮管路相连接；该冷井40的外周壁面固定有金属膜加热器41。

一样品座50，该样品座50固定在冷井40的上端；该样品座50的断面概似一工字形，其上有一传感器70，下面有一磁铁80。

其中在真空腔10内壁的凸台11上固定有两个接线柱15，该接线柱15为绝缘材料制成，该接线柱15上固定有探针90；该接线端16包括：第一接线端161、第二接线端162、第三接线端163，其第一接线端161与探针90连接，第二接线端162与样品座50连接，第三接线端163与金属膜加热器41连接。该接线端16分别与外界的温度传感器指示器和控制装置(为已有技术)连接。

其中在真空腔10与真空底盘30、真空腔10与真空室上盖20之间有一真空密封圈；在观察孔51和透明盖52之间有一真空密封圈。

本实用新型的测试过程为：

首先在样品座50上放置一待测试的样品100，将测试探针90压放在样品表面的适当位置上，温度传感器经真空腔10上的接线端16与外界温度传感器指示器相连，再将真空室17抽成真空，即可对样品进行测试。

测试过程中的温度扫描是通过将液氮从液氮管路60充入冷井40内，开启冷井40外壁面的金属膜加热器41，使温度升至所需温度，升温速率可由外部连接的控制装置调节。