[发明专利]用于去除抗光蚀剂和蚀刻残留物的含有氟化物的酸性组合物

权利要求书

1．一种低表面张力、低粘度的水基组合物，其基本上由以下的物质组成：

a．酸性的缓冲溶液，

b．可以任何比例混溶于水中的极性有机溶剂，

c．氟化物，和

d．水，

其中该水基组合物的pH为约3-6，并且不含二元醇。

2．权利要求1的组合物，其基本组成还有腐蚀抑制剂。

3．权利要求1的组合物，其中酸性缓冲溶液含有羧酸或多价酸的铵盐。

4．权利要求1的组合物，其中极性溶剂是-乙醇胺、n-甲基乙醇胺、甲酰胺、n-甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、γ-丁内酯、N-甲基吡咯烷酮或它们的混合物。

5．权利要求1的组合物，其中氟化物具有通式R₁R₂R₃R₄NF，其中R₁,R₂,R₃和R₄独立地为氢、醇基、烷氧基、烷基或其混合物。

6．权利要求2的组合物，其中腐蚀抑制剂的pK_a低于约6。

7．权利要求2的组合物，其中腐蚀抑制剂是氨基苯甲酸、没食子酸、苯甲酸、丙二酸、马来酸、富马酸、D,L-苹果酸、异邻苯二甲酸、邻苯二甲酸、马来酸酐、邻苯二甲酸酐或它们的混合物。

8．权利要求3的组合物，其中酸性缓冲剂是乙酸铵和乙酸的溶液。

9．权利要求1的组合物，其中氟化物是氟硼酸。

10．权利要求5的组合物，其中氟化物是氟化铵、四甲基氟化铵或四乙基氟化铵。

11．权利要求1的组合物，其在25℃下表面张力低于或等于30mN/m，粘度低于或等于15厘泊。

12．一种低表面张力、低粘度的组合物，其基本上由以下物质组成：

a．含有乙酸和乙酸铵的酸性缓冲溶液，

b．30％-90％重量的可以任何比例混溶于水中的极性有机溶剂，

c．0.1％-20％重量的氟化铵，和

d．0.5％-40％重量的水，和

f．可高至15％重量的腐蚀抑制剂，

其中该组合物的pH为3-6，并且不含二元醇。

13．一种低表面张力、低粘度的水基组合物，其基本上由以下物质组成：

a．乙酸铵；

b．二甲基乙酰胺，

c．乙酸，

d．40％氟化铵水溶液，和

e．去离子水，

其中该组合物的pH为约3-6，并且不含二元醇。

14．一种从基片上去除抗光蚀剂或残留物的方法，包括：在20℃-80℃下将权利要求1的组合物施用到基片上，经足够长的时间，从基片上去除该涂层。

15．权利要求14的方法，其中温度为20℃-60℃。

16．权利要求14的方法，其中温度为20℃-约40℃。

17．权利要求14的方法，其中温度是20℃。