[发明专利]组织或图案表面在一种样品上的应用

权利要求书

1．一种在一个样品模型的表面上提供隆起特征的方法，其特征在于下述步骤：

(a)提供一个模型，所述模型具有至少一个表面，在所述表面上设置了一种隆起特征；

(b)在所述表面上涂覆一定厚度的光致抗蚀剂；

(c)提供用于防止所述光致抗蚀剂的一个第一部分被暴露于辐射源的装置，同时允许对光致抗蚀剂的一个第二部分暴露于辐射源，其中，所述光致抗蚀剂的第二部分提供了隆起特征；

(d)将所述表面暴露于一个辐射源，以通过化学方法改变所述光致抗蚀剂的第二部分；以及，

(e)将所述光致抗蚀剂的第一部分从所述表面移开，同时留下由所述表面上暴露的光致抗蚀剂形成的隆起特征。

2．根据权利要求1所述的方法，其特征在于，利用光致抗蚀剂涂覆所述表面的步骤包括，提供多于一层的光致抗蚀剂的步骤。

3．根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在连续的几层光致抗蚀剂之间允许足够的干燥时间。

4．根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在利用光致抗蚀剂涂覆所述表面的步骤之前清洗所述样品模型的表面。

5．根据权利要求1所述的方法，其特征在于，进一步包括下述步骤：

在去除所述光致抗蚀剂的第一部分的步骤之后，检查所述隆起特征；以及，

重复步骤(b)-(e)以增强所述隆起特征。

6．根据权利要求1所述的方法，其中提供一个模型的步骤的特征在于，提供由一个立体平版印刷方法制造的模型。

7．一种样品模型，所述模型在至少一个表面上具有一种隆起特征，其特征在于，所述隆起特征通过权利要求1的方法形成。