[发明专利]辐射敏感性组合物

权利要求书

1.一种包含树脂组合物和辐射敏感性物质的辐射敏感性组合物，其中，树脂组合物包含两种或多种树脂，进而，其中所述树脂的折射率差值至少为0.03。

2.如权利要求1的辐射敏感性组合物，其中，树脂组合物包含(a)一种树脂组份，其包含碱溶性树脂和(b)一种树脂添加剂，其包含与树脂组份的树脂折射率相差0.03或更大的一种树脂。

3.一种包含树脂组合物和辐射敏感性物质的辐射敏感性组合物，其中，树脂组合物至少包含(a)一种碱溶性树脂的树脂组份和(b)一种用作溶解抑制剂的树脂的树脂添加剂，辐射敏感性物质为(c)一种包含醌二叠氮化物基团的辐射敏感性物质。

4.如权利要求2或3的辐射敏感性组合物，其中，树脂添加剂至少为一种选自下述的物质：聚丙烯酸酯，聚甲基丙烯酸酯，聚苯乙烯衍生物，由丙烯酸酯、甲苯丙烯酸酯和苯乙烯中至少两种单体获得的共聚物，以及由这些单体中至少一种与具有羧基或羧酸酸酐基团的有机酸单体获得的共聚物。

5.如权利要求4的辐射敏感性组合物，其中，由丙烯酸酯、甲苯丙烯酸酯和苯乙烯中至少一种与具有羧基或羧酸酸酐基团的有机酸单体获得的共聚物的酸值为1～80mg KOH/g。

6.如权利要求4的辐射敏感性组合物，进一步包含一种含50mol％或更多具有羧基或羧酸酸酐基团的重复单元的聚合物。

7.如权利要求2或3的辐射敏感性组合物，其中，在2.38wt％的四甲基氢氧化铵水溶液中的溶解速度为5000/分钟或更小。

8.如权利要求2或3的辐射敏感性组合物，当包含低于树脂中50mol％的重复单元的树脂用作树脂添加剂时，树脂的重均分子量为7,000-20,000，采用聚苯乙烯标准测量，并且，当包含不低于树脂中50mol％的重复单元的树脂用作树脂添加剂时，树脂的重均分子量为3,000-25,000，采用聚苯乙烯标准测量。

9.如权利要求4的辐射敏感性组合物，其中，X值即B/A值为0.01-0.13，A值为在重丙酮中树脂组合物的溶液的¹H-NMR光谱中，在7.2-5.6ppm范围中峰下面面积的积分值，B值为在1.3-0.95ppm范围中峰下面面积的积分值B。

10.如权利要求2或3的辐射敏感性组合物，其中，树脂组份为酚醛清漆树脂。

11.如权利要求10的辐射敏感性组合物，其中，酚醛清漆树脂的重均分子量为3,000-15,000，采用聚苯乙烯标准测量。

12.如权利要求1或3的辐射敏感性组合物，其中，当包含低于树脂中50mol％的重复单元的苯乙烯单体重量单元的树脂用作树脂添加剂时，辐射敏感性物质的用量为1-20重量份，以100重量份辐射敏感性组合物中的碱溶性树脂计，当包含不低于树脂中50mol％的重复单元的苯乙烯单体重量单元的树脂用作树脂添加剂时，辐射敏感性物质的用量为10-30重量份，以100重量份辐射敏感性组合物中的碱溶性树脂计。    

13.如权利要求12的辐射敏感性组合物，其中，当包含低于树脂中50mol％的重复单元的苯乙烯单体重量单元的树脂用作树脂添加剂时，辐射敏感性物质的用量为1-18重量份，以100重量份辐射敏感性组合物中的碱溶性树脂计。

14.如权利要求2或3的辐射敏感性组合物，其中，其中，当包含低于树脂中50mol％的重复单元的苯乙烯单体重量单元的树脂用作树脂添加剂时，树脂添加剂的用量为1-20重量份，以100重量份碱溶性树脂中酚醛清漆树脂计，当包含不低于树脂中50mol％的重复单元的苯乙烯单体重量单元的树脂用作树脂添加剂时，树脂添加剂的用量为0.5-5重量份，以100重量份碱溶性树脂中酚醛清漆树脂计。

15.如权利要求1或3的辐射敏感性组合物，进一步包含一种具有由通式(I)表示的酚性羟基基团的低分子化合物：

其中，R₁、R₂、R₃、R₄、R₅、R₆和R₇彼此独立地表示H、C₁-C₄烷基、C₁-C₄烷氧基、环己基或下式表示的基团：

其中，R₈表示H、C₁-C₄烷基、C₁-C₄烷氧基或环己基；m和n均为0、1或2；a、b、c、d、e、f、g和h均为0或整数1-5，并满足a＋b≤5，c＋d≤5，e＋f≤5，和g＋h≤5；和i为0、1或2。