[发明专利]一种微滴沉积装置无效
| 申请号： | 00803282.3 | 申请日： | 2000-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN1338993A | 公开（公告）日： | 2002-03-06 |
| 发明（设计）人： | A·康迪 | 申请（专利权）人： | 萨尔技术有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 林长安 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种微滴沉积装置，所述装置包括液滴喷嘴以及与所述喷嘴相通并输送喷射微滴的液体给所述喷嘴的压力腔，该压力腔的侧壁设置了可根据应用的电信号而变形使喷嘴喷射出微滴的受体掺杂压电材料。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，在施加的电信号电压下，所述材料的滞后耗损正切(tanδ)基本上不大于0.05。
3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述材料的品质因数在15到30之间，最好为约25。
4.根据前面任何一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述喷嘴位于所述压力腔的两个末端之间的另一侧壁上。
5.根据前面任何一项权利要求所述的装置，其特征在于，施加的电信号使所述压电材料以剪切模式变形，并在所述压力腔中形成声压波，从而喷出所述微滴。
6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，在所述外壁上的所述压电材料有两个并排延伸的区域，所述区域具有极性，从其横截面上看，施加的电信号可使所述区域变形成V形。
7.根据前面任何一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述压电材料为压电换能材料。
8.一种微滴沉积装置，该装置基本上和参考附图3到图7中的任何一幅所介绍的装置相同。
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