[发明专利]采用磁桶和同心等离子体源及材料源的离子化物理气相淀积装置无效
| 申请号： | 00803981.X | 申请日： | 2000-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN1154750C | 公开（公告）日： | 2004-06-23 |
| 发明（设计）人： | 米尔科·武科维奇 | 申请（专利权）人： | 东京电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;H01J37/34;H01J37/32 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蹇炜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 采用 同心 等离子体 材料 离子化 物理 气相淀积 装置 | ||
【权利要求书】：
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